Для цитирования:
Никитин А.В. Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(8):15-20.
Полноэкранный режим
Популярные статьи
Главный редактор
Евгений Русланович Лазаренко
Инструменты статьи
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин))
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин))
Об авторе
Облако тегов
calibration
standard
государственный первичный эталон
диагностика
измерение
калибровка
лазер
лазерное излучение
магнитное поле
математическая модель
метрологические характеристики
метрологическое обеспечение
нестабильность частоты
первичный эталон
поверка
погрешность
сличения
стандартные образцы
стандартный образец
температура
эталон
Уведомления
141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево, ФГУП "ВНИИФТРИ", редакция журнала "Измерительная техника".
тел.: 8(495)781-48-70
e-mail: izmt@yandex.ru
