Проанализированы состояние и проблемы измерений размеров в технологии изготовления микроэлектронных изделий с проектными нормами в сотни или десятки нанометров в условиях промышленного производства. Приведены аргументы о недостаточности относительных измерений и необходимости перехода к измерениям в абсолютной шкале размеров, обеспечивающим не только воспроизводимость, но и абсолютную точность результатов, что особенно актуально при освоении изделий с нанометровыми проектными нормами.
In this paper the status of the size measurement methods used in process control of productions in micro-electron FAB with NODES of the nanometer rangeis analyzed and relevant problems are discussed. We made the conclusion on insufficiency of relative measurements and the need to use the measurements In absolute scale of sizes – ensuring not only the reproducibility but also the absolute accuracy of results which is especially important at producing the items with nanometer design rules.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.