Для цитирования:
Дарзнек С.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерение неоднородности толщины наноплёнок электронно-зондовым методом. Измерительная техника. 2016;(8):24-26.
JATS XML
Дарзнек С.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерение неоднородности толщины наноплёнок электронно-зондовым методом. Измерительная техника. 2016;(8):24-26.