Предложен электронно-зондовый способ измерений неоднородности толщины наноплёнок, основанный на зависимости отношения интенсивностей характеристического рентгеновского излучения элементов плёнки от её толщины. Калибровочная зависимость построена расчётным путём, взаимодействие электронов с образцом промоделировано по методу Монте-Карло.
Electron probe measuring method the inhomogeneity of the thickness of the nanofilms, based on the dependence of the ratio of intensities of characteristic x-rays of the elements included in the film from its thickness is proposed. Calibration dependence is created by calculations on the basis of simulation of interaction of electrons with the sample by the Monte Carlo method.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.