Нанометрология и особенности метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости и рельефа наноструктурированных поверхностей
Abstract
The problems of metrological assurance for roughness and relief of nanostructured surface measurements are considered. On the base of existing types of scanning probe microscopes analysis the description of physical and technical data of different measuring means for nanometer range and the ways of their binding to the length unit standards are presented.
About the Authors
В. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Соловьев
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
П. Лускинович
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
К. Губский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Галлямов М. О., Яминский И. В., Сканирующая зондовая микроскопия: основные принципы, анализ искажающих факторов [электрон. ресурс]. http:// www.spm.genebee.msu.su/members/gallyamov/gal_yam/gal_yam1.htm (дата обращения 01.07.2010).
2. Исаакян В. А. Микроскопия вчера, сегодня, завтра [электрон. ресурс]. http://www.keral.ru (дата обращения 01.07.2010).
3. Whitehouse D. J. Handbook of surface metrology. England: RTH, University of Warwick.
4. Гоголинский К. В. и др. Разработка метрологического комплекса для обеспечения единства измерений свойств поверхности в нанометровом диапазоне на базе сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3D» // Законодательная и прикладная метрология. 2010. № 1 (107). С. 33-34.
5. Пат. 96429 РФ / К. Г. Гоголинский и др. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптической системой линейных измерений // Изобретия. Полезные модели. 2010. № 21.
6. Meine K. Correlation of Frictoin and Roughness // X Intern. Colloq. on surfaces. Chemnitz (Germany), 2000.
Review
For citations:
, , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2010;(11):17-21. (In Russ.)
Views:
95
Email this article 