Нанометрология и особенности метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости и рельефа наноструктурированных поверхностей
Аннотация
Рассмотрены вопросы метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости и рельефа наноструктурированных поверхностей. На основе анализа существующих разработок в области сканирующей зондовой микроскопии дано описание физико-технических характеристик различных средств измерений нанометрового диапазона и прослеживаемость их к эталонам единицы длины.
Ключевые слова
537.533:620.187:539.25
Об авторах
В. Г. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
В. В. Соловьев
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
П. Н. Лускинович
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
К. Л. Губский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Галлямов М. О., Яминский И. В., Сканирующая зондовая микроскопия: основные принципы, анализ искажающих факторов [электрон. ресурс]. http:// www.spm.genebee.msu.su/members/gallyamov/gal_yam/gal_yam1.htm (дата обращения 01.07.2010).
2. Исаакян В. А. Микроскопия вчера, сегодня, завтра [электрон. ресурс]. http://www.keral.ru (дата обращения 01.07.2010).
3. Whitehouse D. J. Handbook of surface metrology. England: RTH, University of Warwick.
4. Гоголинский К. В. и др. Разработка метрологического комплекса для обеспечения единства измерений свойств поверхности в нанометровом диапазоне на базе сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3D» // Законодательная и прикладная метрология. 2010. № 1 (107). С. 33-34.
5. Пат. 96429 РФ / К. Г. Гоголинский и др. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптической системой линейных измерений // Изобретия. Полезные модели. 2010. № 21.
6. Meine K. Correlation of Frictoin and Roughness // X Intern. Colloq. on surfaces. Chemnitz (Germany), 2000.
Рецензия
Для цитирования:
Лысенко В.Г., Соловьев В.В., Лускинович П.Н., Золотаревский С.Ю., Губский К.Л. Нанометрология и особенности метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости и рельефа наноструктурированных поверхностей. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2010;(11):17-21.
Просмотров:
93
Послать статью по эл. почте 