Рассмотрены вопросы метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости и рельефа наноструктурированных поверхностей. На основе анализа существующих разработок в области сканирующей зондовой микроскопии дано описание физико-технических характеристик различных средств измерений нанометрового диапазона и прослеживаемость их к эталонам единицы длины.
The problems of metrological assurance for roughness and relief of nanostructured surface measurements are considered. On the base of existing types of scanning probe microscopes analysis the description of physical and technical data of different measuring means for nanometer range and the ways of their binding to the length unit standards are presented.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.