Альзоба В.В., Кузин А.Ю., Ларионов Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопапри измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(8):40- 43.
Главный редактор
Евгений Русланович Лазаренко
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин)) 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево, ФГУП "ВНИИФТРИ", редакция журнала "Измерительная техника".
тел.: 8(495)781-48-70
e-mail: izmt@yandex.ru
