izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1442Research ArticleОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯOPTICOPHYSICAL MEASUREMENTSВыбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопапри измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зондаАльзобаВ. В.fgupnicpv@mail.ruКузинА. Ю.noemail@neicon.ruЛарионовЮ. В.luv@kapella.gpi.ruРаковА. В.noemail@neicon.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruФилипповМ. Н.fil@igic.ras.ruНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, МоскваRussian FederationИнститут общей физики им. А. М. Прохорова РАН, МоскваRussian FederationИнститут общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, МоскваRussian Federation2012070220230840- 43Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1442

Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда растрового электронного микроскопа, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда. Показано, что эта погрешность может быть уменьшена путемвыбора оптимальных параметров зонда, при которых реальные условия измерений в наилучшей степени соответствуют требованиям расчетной модели.

An estimation of methodological error of object geometrical parameters measurementsusing the scanning electron microscope (SEM) electron probe defocusing method was carried out. This error caused by the dependence of measurement result on the probe parameters. It is shown that this error can be reduced to the loved of random error by choosing of optimal parameters of the probe.

растровый электронный микроскопметод дефокусировкиscanning electron microscopedefocusing methodReferencesDavid C. Joy Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysys// Oxford University Press. USA, 1995David C. Joy Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysys// Oxford University Press. USA, 1995Волк Ч.П. и др. Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа // Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Труды ИОФАН. М.:Наука, 2006. С. 77–120.Волк Ч.П. и др. Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа // Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Труды ИОФАН. М.:Наука, 2006. С. 77–120.Filippov M.N.e. a. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements // Proc. SPIE. 2010. V. 7521.P. 7521161-9.Filippov M.N.e. a. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements // Proc. SPIE. 2010. V. 7521.P. 7521161-9.Данилова М.А.и др. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии// Измерительная техника. 2008. №8. C. 20–23;Данилова М.А.и др. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии// Измерительная техника. 2008. №8. C. 20–23;Danilova M. A. e. a. A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N 8. P. 839–843.Danilova M. A. e. a. A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N 8. P. 839–843.Novikov Yu. A. e. a. Test objects with right- ang led and trapezoidal profiles of the relief elements // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 704208-1 – 704208-12.Novikov Yu. A. e. a. Test objects with right- ang led and trapezoidal profiles of the relief elements // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 704208-1 – 704208-12.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.