Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии
Abstract
In this paper the status of the size measurement methods used in process control of productions in micro-electron FAB with NODES of the nanometer rangeis analyzed and relevant problems are discussed. We made the conclusion on insufficiency of relative measurements and the need to use the measurements In absolute scale of sizes – ensuring not only the reproducibility but also the absolute accuracy of results which is especially important at producing the items with nanometer design rules.
About the Author
А. Никитин
Институт искусств и информационных технологий, филиал, С.-Петербург
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Макушин М.Мировой рынок микроэлектроники после кризиса: Новые реалии и старые проблемы // Электроника НТБ.2010. Вып.2.
2. International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), SIA.
3. NikitinA.V.,YereminD.Y., Sandy M. The importance of accuracy in SEM metrology//Proc. SPIE.2008. V. 6922.N154.
4. Пат. 6.978.215 США.Dec.20, 2005.
5. Пат. 6.969.852 США. Nov. 29,2005.
6. Пат 6.807.314. США. Oct. 19, 2004.
7. Пат. 6.664.532 США. Dec. 16, 2003.
8. Пат.6.573.500 США. Jun. 03,2003.
9. Пат. 6.878.935. США. Apr. 12, 2005.
10. Пат. 6.563.116 США. May13, 2003.
11. Никитин A. В. Использование математического моделирования для измерений наноразмеров в микроэлектронике// Измерительная техника. 2011. № 12. С. 25–29;
12. Nikitin A. V. Use of mathematical modeling for measurements of nanodimensions in microelectronics //Measurement Techniques. 2011. V. 54. N 12. Р. 1346–1352.
Review
For citations:
. Izmeritel`naya Tekhnika. 2012;(8):15-20. (In Russ.)
Views:
54
Email this article 