Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Панов В.И., Ежов А.А., Музыченко Д.А. Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрения. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(9):15- 18.
Главный редактор
Евгений Русланович Лазаренко
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин)) 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево, ФГУП "ВНИИФТРИ", редакция журнала "Измерительная техника".
тел.: 8(495)781-48-70
e-mail: izmt@yandex.ru
