izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1235Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯМетодика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитренияКузинА. Ю.fgupnicpv@mail.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruПановВ. И.panov@phys.msu.ruЕжовА. А.noemail@neicon.ruМузыченкоД. А.noemail@neicon.ruНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, МоскваRussian FederationМосковский государственный университет им. М.В. Ломоносова, МоскваRussian Federation2012070220230915- 18Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1235

Продемонстрирована возможность использования дифракционной решетки, изготовленной методом лазерного фотоиндуцированного травления поверхности (001) монокристаллического InP и монотоатомных ступеней на поверхности (0001) высокоориентированного пиролитического графита в качестве эталонных объектов для калибровки сканирующего ближнепольного оптического измерительного микроскопа, работающего в режиме квазитрения.

The possibility of employment of InP (001) diffraction grating created by laser photo-induced etching and monoatomic steps on highly oriented pyrolytic graphite as reference samples for scanning near-field optical microscope in shear-force mode has been demonstrated.

сканирующий оптический микроскоп ближнего полядифракционная решеткапиролитический графитscanning near-field optical microscopediffraction gridpyrolytic graphiteReferencesЕжов А.А. и др.Исследование локализации электромагнитного поля на периодических структурах и дефектах методом оптической микроскопии ближнего поля // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. №11.С. 59–63.Ежов А.А. и др.Исследование локализации электромагнитного поля на периодических структурах и дефектах методом оптической микроскопии ближнего поля // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. №11.С. 59–63.ЕжовА.А. и др. Применение сканирующей оптической микроскопии ближнего поля для изучения субмикро- и нанообъектов, а также распределения электромагнитного поля // Наукоемкие технологии.2005.Т.6. №1.С. 34–40.ЕжовА.А. и др. Применение сканирующей оптической микроскопии ближнего поля для изучения субмикро- и нанообъектов, а также распределения электромагнитного поля // Наукоемкие технологии.2005.Т.6. №1.С. 34–40.Lewis A.е. а.Design and imaging concepts in NSOM //Ultramicroscopy.1995.V. 61.Р. 215–220.Lewis A.е. а.Design and imaging concepts in NSOM //Ultramicroscopy.1995.V. 61.Р. 215–220.ГОСТ Р ИСО 14644-1–2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 1. Классификация чистоты воздуха.ГОСТ Р ИСО 14644-1–2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 1. Классификация чистоты воздуха.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.