Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрения
Abstract
The possibility of employment of InP (001) diffraction grating created by laser photo-induced etching and monoatomic steps on highly oriented pyrolytic graphite as reference samples for scanning near-field optical microscope in shear-force mode has been demonstrated.
About the Authors
А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Панов
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Ежов
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Д. Музыченко
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Ежов А.А. и др.Исследование локализации электромагнитного поля на периодических структурах и дефектах методом оптической микроскопии ближнего поля // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. №11.С. 59–63.
2. ЕжовА.А. и др. Применение сканирующей оптической микроскопии ближнего поля для изучения субмикро- и нанообъектов, а также распределения электромагнитного поля // Наукоемкие технологии.2005.Т.6. №1.С. 34–40.
3. Lewis A.е. а.Design and imaging concepts in NSOM //Ultramicroscopy.1995.V. 61.Р. 215–220.
4. ГОСТ Р ИСО 14644-1–2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 1. Классификация чистоты воздуха.
Review
For citations:
, , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2012;(9):15- 18. (In Russ.)
Views:
70
Email this article 