Разработан и реализован аппаратно-методический комплекс электрофизических методов для контроля технологии субмикрометровых КМОП интегральных схем. Создана программируемая коммутация элементов комплекса, позволяющая использовать взаимодополняющие измерительные методики для получения информации, которая необходима для коррекции технологического процесса. В состав комплекса входят программы для управления измерением и расчёта необходимых характеристик.

Проведены исследования вариаций твёрдости репрезентативных материалов различных классов в широких диапазонах нагрузок и глубин отпечатков. Показана возможность и установлены границы диапазонов использования мер твёрдости из этих материалов для калибровки наноиндентометров.

Explored ways of building of measurement complex with variable structure. For high-precision determination of the parameters of the dynamic object, measurement complex with an intelligent component is developed. Algorithmic support of the complex formed based on the theory of functional systems of P.K.Anohin, using scalar estimation algorithm, the self - organization algorithm with reservation trends and criterion the degree of observability of state variables. The processing complex algorithms used in the model with a higher degree of observability of state variables. Intelligent component consists of algorithms for constructing predictive models and comparing the forecast with the current measurement results.

Предложен метод тестово-кодовой коррекции ошибок оперативных запоминающих устройств. Для обнаружения возникающих ошибок использован линейный код , а выявление скрытых ошибок, определение конфигурации (ошибочных разрядов) кратной ошибки и её коррекция проводятся по результатам анализа ответной реакции после тестового воздействия.

Рассмотрена возможность создания компаратора для поверки растровых решеток. В качестве образцового средства использована прецизионная растровая фотоэлектрическая экстремальная счётно-интерполяционная система измерений линейных перемещений c высокими показателями по точности, надёжности и быстродействию.

Получено лидарное уравнение с учётом ширины линии генерации лазера и аппаратной функции в лидаре комбинационного рассеяния света при зондировании молекул углеводородов в атмосфере. Оценена относительная погрешность измерений концентрации исследуемых молекул. В качестве примера молекул предельных углеводородов использован изобутан.

Рассчитана предельная кратковременная нестабильность частоты выходного сигнала пассивного водородного стандарта частоты и времени. Изложена методика экспериментального измерения показателя качества квантового дискриминатора. На основе полученных данных оценена нестабильность частоты стандарта. Обнаруженный в ходе исследования эффект расщепления спектральной линии мазера при увеличении сигнала возбуждения препятствует уменьшению нестабильности стандарта.

Описаны принципы виброакустического диагностирования прецизионной обработки деталей из труднообрабатываемых материалов режущим инструментом из керамики. Рассмотрена многофункциональная информационно-измерительная система для диагностики процесса. Проведены исследования чувствительности вибросигнала к изменениям, происходящим в зоне резания.

Приведено обоснование способа и созданного на его основе устройства автоматизированного неразрушающего контроля пористости материалов. Описаны конструкция и принцип работы устройства контроля. Определена точность контроля параметров пористости материалов газодинамическим методом.

Представлена методика градуировки измерителей температуры цифровых аэрологических радиозондов. Установлено, что погрешность градуировки - главный источник погрешности измерителей температуры аэрологических радиозондов, выпускаемых в России. Показано, что погрешность градуировки цифрового измерителя температуры при использовании методики табличной градуировки значительно меньше, чем при градуировке аналитической функцией.

Разработаны электронные термостатирующие элементы для автоматического управления расходом теплоносителя в системах отопления по заданной программе и регулирования температуры в отапливаемых помещениях. Предложены оригинальные аппаратно-программные решения электронных термостатирующих элементов, оптимизирован алгоритм их работы.

Рассмотрено восстановление истинной температуры металлического порошка в процессе селективного лазерного плавления. Предложена методика определения температуры поверхности ванны расплава металлического порошка в процессе селективного лазерного плавления на основе измерений инфракрасной камерой. Оценено влияние ключевых параметров плавления на геометрию ванны расплава.

Исследованы функциональные возможности эталонной базы в области магнитных измерений в части изменения нижнего предела диапазона воспроизведения и передачи единицы магнитной индукции постоянного поля от 1000 нТл до 10 нТл. Методика и аппаратурная реализация этой актуальной задачи основаны на расширении функциональных возможностей эталонной трехкомпонентной меры - компаратора средств измерений магнитной индукции постоянного поля и эталонного гелий-цезиевого магнитометра из состава Государственного первичного эталона единиц магнитных величин ГЭТ 12-2011.

Проведено экспериментальное исследование полевых транзисторов КП304А в режиме зарядки-разрядки подзатворного конденсатора в схеме переключения с дополнительным резистором между стоком-истоком и подложкой. Предложена методика измерениий мощности на резисторах и ключах с помощью ключевой схемы и цифрового осциллографа B-421.

Разработаны алгоритмы логического устройства с расширенными функциональными возможностями и различными структурными реализациями для сравнения частот и фаз входных импульсных сигналов системы фазовой автоподстройки частоты.

Разработан электромагнитно-акустический преобразователь, позволяющий определять упругие характеристики материалов и проводить ультразвуковой контроль изделий с высокой достоверностью обнаружения особо опасных трещин.

Нейтронно-активационным методом измерен спектр нейтронов вблизи мишени портативного нейтронного генератора НГ-24М. Восстановленный спектр нейтронов представлен в аналитической форме в виде суперпозиции известных физически обоснованных спектров.

Проанализирована относительная погрешность измерений поляризуемости эритроцитов крови человека методом диэлектрофореза. Полученная погрешность обеспечивает объективную оценку динамики течения заболевания и эффективность назначенного лечения.

Приведена методика изготовления хлорсеребряных электродов и последующего их отбора для Государственного первичного эталона показателя pH активности ионов водорода в водных растворах.