Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия как средство контроля формы и шероховатости оптических поверхностей
Abstract
The different aspects of modulation interference microscopy technology application as an effective tool for quality control of the precision optical surfaces with the roughness of about 1 nm and flatness up to 10 nm at the 100 nm aperture, were considered.
About the Authors
П. Игнатьев
ООО «Лаборатории АМФОРА»
Russian Federation
Russian Federation
Л. Кольнер
ООО «Лаборатории АМФОРА»
Russian Federation
Russian Federation
К. Индукаев
ООО «Лаборатории АМФОРА»
Russian Federation
Russian Federation
В. Телешевский
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Теплова Т. Б. Особенности микрошлифования кристаллов лейкосапфира на станочном модуле с ЧПУ // Горный информационно-аналитический бюллетень. 2005. № 3. С. 52-56.
2. Andreev V. A., Indukaev K. V. The problem of subrayleigh[Б25] resolution in interference microscopy// J. Russian Laser Research. 2003. V. 24. N. 3. P. 220-224.
3. Лопарев А. В., Игнатьев П. С., Индукаев К. В, Осипов П. А., Мазалов И. Н.,Козырев А. В. Высокоскоростной модуляционный интерференционный микроскоп для медико-биологических исследований // Измерительная техника. 2009. № 11. С. 60-64.
4. Телешевский В. И., Шулепов А. В., Есин А.П. Методы повышения точности линейных измерений на измерительных микроскопах с помощью цифровой обработки оптических изображений // Вестник МГТУ «Станкин». 2009. № 1. С. 102-107.
5. Телешевский В. И., Шулепов А. В., Роздина Е. М. Повышение точности измерений линейно-угловых размеров изделий в интеллектуальной компьютерной микроскопии // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. № 4. С. 35-38.
6. Телешевский В.И., Соколов В.А. Анализ объемных геометрических погрешностей в многокоординатных измерительных и технологических системах на основе лазерных измерений //Измерительная техника. 2013. № 12. С. 19-23.
7. Гришин С. Г., Телешевский В. И. Анализ фазовых шумов в гетеродинной интерферометрии с акустооптическим преобразованием частоты света// Измерительная техника. 2014. № 1. С. 17-21.
8. Латонов И. В., Шулепов А. В. Способ бесконтактной оценки шероховатости поверхности по ее цифровому изображению, формируемому оптической системой измерительного микроскопа // Вестник МГТУ "Станкин", 2013. № 1. С. 141-145.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2015;(7):32-35. (In Russ.)
Views:
97
Email this article 