izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-98Research ArticleК ЮБИЛЕЮ ИНСТИТУТАЛазерная модуляционная интерференционная микроскопия как средство контроля формы и шероховатости оптических поверхностейИгнатьевП. С.noemail@neicon.ruКольнерЛ. С.noemail@neicon.ruИндукаевК. В.noemail@neicon.ruТелешевскийВ. И.ips@amphoralabs.ruООО «Лаборатории АМФОРА»Russian FederationМосковский государственный технологический университет «СТАНКИН»Russian Federation201507022023073235Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/98

Рассмотрено применение технологии модуляционной интерференционной микроскопии в качестве эффективного инструмента для контроля качества прецизионных оптических поверхностей с шероховатостью порядка 1 нм и плоскостностью до 10 нм на апертуре до 100 мм.

The different aspects of modulation interference microscopy technology application as an effective tool for quality control of the precision optical surfaces with the roughness of about 1 nm and flatness up to 10 nm at the 100 nm aperture, were considered.

модуляционная интерференционная микроскопиясверхразрешениеанизотропияоптическая поверхностьmodulation interference microscopysuper-high resolutionanisotropyoptical surfacesReferencesТеплова Т. Б. Особенности микрошлифования кристаллов лейкосапфира на станочном модуле с ЧПУ // Горный информационно-аналитический бюллетень. 2005. № 3. С. 52-56.Теплова Т. Б. Особенности микрошлифования кристаллов лейкосапфира на станочном модуле с ЧПУ // Горный информационно-аналитический бюллетень. 2005. № 3. С. 52-56.Andreev V. A., Indukaev K. V. The problem of subrayleigh[Б25] resolution in interference microscopy// J. Russian Laser Research. 2003. V. 24. N. 3. P. 220-224.Andreev V. A., Indukaev K. V. The problem of subrayleigh[Б25] resolution in interference microscopy// J. Russian Laser Research. 2003. V. 24. N. 3. P. 220-224.Лопарев А. В., Игнатьев П. С., Индукаев К. В, Осипов П. А., Мазалов И. Н.,Козырев А. В. Высокоскоростной модуляционный интерференционный микроскоп для медико-биологических исследований // Измерительная техника. 2009. № 11. С. 60-64.Лопарев А. В., Игнатьев П. С., Индукаев К. В, Осипов П. А., Мазалов И. Н.,Козырев А. В. Высокоскоростной модуляционный интерференционный микроскоп для медико-биологических исследований // Измерительная техника. 2009. № 11. С. 60-64.Телешевский В. И., Шулепов А. В., Есин А.П. Методы повышения точности линейных измерений на измерительных микроскопах с помощью цифровой обработки оптических изображений // Вестник МГТУ «Станкин». 2009. № 1. С. 102-107.Телешевский В. И., Шулепов А. В., Есин А.П. Методы повышения точности линейных измерений на измерительных микроскопах с помощью цифровой обработки оптических изображений // Вестник МГТУ «Станкин». 2009. № 1. С. 102-107.Телешевский В. И., Шулепов А. В., Роздина Е. М. Повышение точности измерений линейно-угловых размеров изделий в интеллектуальной компьютерной микроскопии // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. № 4. С. 35-38.Телешевский В. И., Шулепов А. В., Роздина Е. М. Повышение точности измерений линейно-угловых размеров изделий в интеллектуальной компьютерной микроскопии // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. № 4. С. 35-38.Телешевский В.И., Соколов В.А. Анализ объемных геометрических погрешностей в многокоординатных измерительных и технологических системах на основе лазерных измерений //Измерительная техника. 2013. № 12. С. 19-23.Телешевский В.И., Соколов В.А. Анализ объемных геометрических погрешностей в многокоординатных измерительных и технологических системах на основе лазерных измерений //Измерительная техника. 2013. № 12. С. 19-23.Гришин С. Г., Телешевский В. И. Анализ фазовых шумов в гетеродинной интерферометрии с акустооптическим преобразованием частоты света// Измерительная техника. 2014. № 1. С. 17-21.Гришин С. Г., Телешевский В. И. Анализ фазовых шумов в гетеродинной интерферометрии с акустооптическим преобразованием частоты света// Измерительная техника. 2014. № 1. С. 17-21.Латонов И. В., Шулепов А. В. Способ бесконтактной оценки шероховатости поверхности по ее цифровому изображению, формируемому оптической системой измерительного микроскопа // Вестник МГТУ "Станкин", 2013. № 1. С. 141-145.Латонов И. В., Шулепов А. В. Способ бесконтактной оценки шероховатости поверхности по ее цифровому изображению, формируемому оптической системой измерительного микроскопа // Вестник МГТУ "Станкин", 2013. № 1. С. 141-145.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.