сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия как средство контроля формы и шероховатости оптических поверхностей
Аннотация
Рассмотрено применение технологии модуляционной интерференционной микроскопии в качестве эффективного инструмента для контроля качества прецизионных оптических поверхностей с шероховатостью порядка 1 нм и плоскостностью до 10 нм на апертуре до 100 мм.
Об авторах
П. С. Игнатьев
ООО «Лаборатории АМФОРА»
Россия
Россия
Л. С. Кольнер
ООО «Лаборатории АМФОРА»
Россия
Россия
К. В. Индукаев
ООО «Лаборатории АМФОРА»
Россия
Россия
В. И. Телешевский
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Россия
Россия
Список литературы
1. Теплова Т. Б. Особенности микрошлифования кристаллов лейкосапфира на станочном модуле с ЧПУ // Горный информационно-аналитический бюллетень. 2005. № 3. С. 52-56.
2. Andreev V. A., Indukaev K. V. The problem of subrayleigh[Б25] resolution in interference microscopy// J. Russian Laser Research. 2003. V. 24. N. 3. P. 220-224.
3. Лопарев А. В., Игнатьев П. С., Индукаев К. В, Осипов П. А., Мазалов И. Н.,Козырев А. В. Высокоскоростной модуляционный интерференционный микроскоп для медико-биологических исследований // Измерительная техника. 2009. № 11. С. 60-64.
4. Телешевский В. И., Шулепов А. В., Есин А.П. Методы повышения точности линейных измерений на измерительных микроскопах с помощью цифровой обработки оптических изображений // Вестник МГТУ «Станкин». 2009. № 1. С. 102-107.
5. Телешевский В. И., Шулепов А. В., Роздина Е. М. Повышение точности измерений линейно-угловых размеров изделий в интеллектуальной компьютерной микроскопии // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. № 4. С. 35-38.
6. Телешевский В.И., Соколов В.А. Анализ объемных геометрических погрешностей в многокоординатных измерительных и технологических системах на основе лазерных измерений //Измерительная техника. 2013. № 12. С. 19-23.
7. Гришин С. Г., Телешевский В. И. Анализ фазовых шумов в гетеродинной интерферометрии с акустооптическим преобразованием частоты света// Измерительная техника. 2014. № 1. С. 17-21.
8. Латонов И. В., Шулепов А. В. Способ бесконтактной оценки шероховатости поверхности по ее цифровому изображению, формируемому оптической системой измерительного микроскопа // Вестник МГТУ "Станкин", 2013. № 1. С. 141-145.
Рецензия
Для цитирования:
Игнатьев П.С., Кольнер Л.С., Индукаев К.В., Телешевский В.И. Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия как средство контроля формы и шероховатости оптических поверхностей. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2015;(7):32-35.
Просмотров:
93
Послать статью по эл. почте 