Батурин А.С., Бормашов В.С., Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Зайцев С.А., Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2013;(11):17-22.
Главный редактор
Евгений Русланович Лазаренко
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин)) 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево, ФГУП "ВНИИФТРИ", редакция журнала "Измерительная техника".
тел.: 8(495)781-48-70
e-mail: izmt@yandex.ru
