izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-876Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯЭллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытийБатуринА. С.noemail@neicon.ruБормашовВ. С.noemail@neicon.ruГавриленкоВ. П.noemail@neicon.ruЗаблоцкийА. В.noemail@neicon.ruЗайцевС. А.noemail@neicon.ruКузинА. Ю.akuzin@nicpv.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruФилипповМ. Н.MN@filippov.org.ruМосковский физико-технический институтRussian FederationНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуумаRussian FederationИнститут общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАНRussian Federation2013070220230111722Copyright © Батурин А.С., Бормашов В.С., Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Зайцев С.А., Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Филиппов М.Н., 20232023Батурин А.С., Бормашов В.С., Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Зайцев С.А., Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Филиппов М.Н.Батурин А.С., Бормашов В.С., Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Зайцев С.А., Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Филиппов М.Н.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/876

Предложен эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий в диапазоне 5 – 150 нм.

The ellipsometric method of depth inhomogeneity evaluation of thin films coatings in depth range from 5 to 150 mn is proposed.

тонкие пленкитолщинаэллипсометрияthin filmsthichnessellipsometryReferencesКрасников Г. Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. М.:Техносфера, 2011.Красников Г. Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. М.:Техносфера, 2011.Morton D. E., Johs B., Hale J. Optical monitoring of thin films using spectroscopic ellipsometry. / Proc. 45th Tech. Conf.: Soc. Vac. Coaters. P. 299–305.Morton D. E., Johs B., Hale J. Optical monitoring of thin films using spectroscopic ellipsometry. / Proc. 45th Tech. Conf.: Soc. Vac. Coaters. P. 299–305.Woollam J. A. e. a. Overview of variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE), part I: basic theory and typical applications //Optical Metrology. 1999. V. CR72. P. 3–75.Woollam J. A. e. a. Overview of variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE), part I: basic theory and typical applications //Optical Metrology. 1999. V. CR72. P. 3–75.Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981.Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981.Горшков М. М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974.Горшков М. М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.