Для цитирования:

Минаев В.Л., Левин Г.Г., Латышев А.В., Щеглов Д.В. Измерение профиля поверхности моноатомной многослойной наноструктуры кремния интерференционным методом. Измерительная техника. 2017;(11):12-14.