izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-858Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯИзмерение профиля поверхности моноатомной многослойной наноструктуры кремния интерференционным методомМинаевВ. Л.minaev@vniiofi.ruЛевинГ. Г.noemail@neicon.ruЛатышевА. В.noemail@neicon.ruЩегловД. В.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измеренийRussian FederationИнститут физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАНRussian Federation2017070220230111214Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/858

Рассмотрена задача измерения профиля моноатомной многослойной поверхности наноструктур кремния с помощью интерференционного метода. Измерения проведены сканирующим интерференционным микроскопом белого света Zygo New View 6200 из состава Центра коллективного пользования высокоточных измерительных технологий в области фотоники ВНИИОФИ.

The problem of measuring the surface profile of silicon nanostructures consisting of monoatomic layers using an interference method is considered. The Zygo New View 6200 scanning light interference microscope from the Center for the collective use of high-precision measurement technologies in the field of photonics VNIIOFI, was used for the measurements.

субнанометровый диапазонмера высотымоноатомный слойинтерференционный микроскопинтерферометрия белого светаsubnanometer rangeheight measuremonoatomic layerinterference microscopewhite light interferometryReferencesВишняков Г. Н., Цельмина И. Ю. Качество оптической поверхности, обработанной с применением полиуретана // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 68-71.Вишняков Г. Н., Цельмина И. Ю. Качество оптической поверхности, обработанной с применением полиуретана // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 68-71.Барышева М. М., Вайнер Ю. А. Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Т. 75. № 1. С. 71-76.Барышева М. М., Вайнер Ю. А. Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Т. 75. № 1. С. 71-76.Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19-24.Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19-24.Сысоев Е. В., Выхристюк И. А., Куликов Р. В., Поташников А. К., Разум В. А., Степнов Л. М. Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия. 2010. Т. 46. № 2. С. 119-128.Сысоев Е. В., Выхристюк И. А., Куликов Р. В., Поташников А. К., Разум В. А., Степнов Л. М. Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия. 2010. Т. 46. № 2. С. 119-128.Пат. 2371674 РФ. Способ изготовления ступенчатого высотного калибровочного стандарта для профилометрии и сканирующей зондовой микроскопии / Щеглов Д. В., Косолобов С. С., Родякина Е. Е, Латышев А. В. // Изобретения. Полезные модели. 2009. № 10.Пат. 2371674 РФ. Способ изготовления ступенчатого высотного калибровочного стандарта для профилометрии и сканирующей зондовой микроскопии / Щеглов Д. В., Косолобов С. С., Родякина Е. Е, Латышев А. В. // Изобретения. Полезные модели. 2009. № 10.ISO 16610-21:2011. Геометрические характеристики изделий (GPS). Фильтрация. Ч. 21. Линейные профильные фильтры: Фильтры Гаусса.ISO 16610-21:2011. Геометрические характеристики изделий (GPS). Фильтрация. Ч. 21. Линейные профильные фильтры: Фильтры Гаусса.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.