Корреляционный нелинейно-оптический фемтосекундный лазерный профилометр с микрометровым пространственным разрешением

Предложен новый фемтосекундный корреляционный нелинейно-оптический профилометр с микрометровым пространственным разрешением для повышения точности измерений профиля неоднородности поверхности на расстоянии до 1 км. Принцип работы данного профилометра основан на определении расстояния до сканируемого объекта методом измерений временного интервала между последовательностями опорных (зондирующих) и отражённых фемтосекундных лазерных импульсов. Далее восстанавливается профиль шероховатой поверхности с помощью одномерного пространственного распределения излучения второй гармоники при пространственно-временном совмещении последовательностей зондирующих и отражённых импульсов в нелинейном кристалле. Показано, что пространственное разрешение профилометра составляет не более 5 мкм.

профилометр, фемтосекундный лазер, оптическая линия задержки, вторая гармоника, фазовый синхронизм, profiler, femtosecond laser, optical delay line, second harmonic, phase matching

1. Georg Paul Emil von Bueren. Clock and Data Recovery Circuit and Clock Synthesizers for 40 Gb/s High-Density Serial I/O-Links in 90-nm CMOS. [Электрон. версия] http://e-ollection.library.ethz.ch/eserv/eth:4700/eth-4700-02.pdf, ETH ZÜRICH, 2011.

2. Херман Й., Вильгельми Б. Лазеры сверхкоротких световых импульсов, М.: Мир, 1986.

3. Авакян Р. А., Варданян А. О., Оганесян Д. Л. Кросс-корреляционный метод определения формы одиночного УКИ // Квантовая электроника. 1994. Т. 21. № 1. С. 75-77.

4. Варданян А.О., Маилян А.Э., Оганесян Д.Л. О корректности восстановления временного профиля одиночного УКИ света кросс-корреляционным методом // Квантовая электроника. 1997. Т. 24. № 9. С. 861-863.

5. Rick Trebino. Frequency-Resolved Optical Gating: The Measurement of Ultrashort Laser Pulses. Springer Science+Business Media, LLC, ISBN-13: 978-1402070662, 2002.

6. Дмитриев В. Г., Тарасов Л. В. Прикладная нелинейная оптика. 2-е изд., перераб. и доп. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2004.