Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Анализ фазовых шумов в гетеродиннойинтерферометрии с акустооптическим преобразованием частоты света
Abstract
The components of phase noise are considered and the estimation of their level for heterodyne interferometry for linear and angular measurements with acousto-optic transformation of light frequency is carryied out.
About the Authors
С. Гришин
Московский государственный технологический университет “CТАНКИН”
Russian Federation
Russian Federation
В. Телешевский
Московский государственный технологический университет “CТАНКИН”
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Телешевский В. И., СоколовВ. А. Лазерная коррекция геометрических погрешностей многокоординатных систем с программным управлением // Измерительная техника. 2012. №5. С. 33-37;Teleshevskii V. I., Sokolov V. A. Lasercorrectionofgeometricerrorsofmulti-axisprogrammed-controlledsystems // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N. 5. P. 535-541.
2. Телешевский В. И. Гетеродинныеметодылазернойинтерферометриинаосновеакустическоймодуляциисвета // Измерительнаятехника. 1975. №1. С. 42-45;Teleshevskii V. I.Heterodyne methods of laser interferometry on the basis of acoustic light modulation // Measurement Techniques. 1975. V. 18. N. 1. P. 70-74.
3. Teleshevsky V. I. Heterodyne laser interferometry for measuring of form and position deviation in nanotechnology // Proc. 4thсonf.on Ultraprec.in Manufact.Eng. Braunschweig, Germany.1997. V. 1. P. 35-40.
4. ДарзнекС. А.идр.Лазерныйинтерферометрическийизмерительнаноперемещений// Тр.ин-та общей физики им. А. М. Прохорова РАН. 2006. Т. 62. С. 14-37.
5. Желкобаев Ж. Е., Календин В. В., Тодуа П. А. Метрологическое обеспечение лазерной интерферометрии - фазометрии // Вестник С.-Петербургского отд. Академии инженерных наук им. А. М. Прохорова. СПб. : Изд-во Политехнического ун-та, 2007. №3. С. 102-123.
6. Гришин С. Г. Оценка фазовой погрешности в гетеродинных лазерных интерференционных измерительных системах // Измерительная техника. 2011. №8. С. 11-13;Grishin S. G. Estimatingphaseerrorinheterodynelaserinterferometermeasurementsystems // MeasurementTechniques. 2011. V. 54. N. 8. P. 865-868.
7. Росс М. Лазерные приемники / Пер. с англ. М.: Мир, 1969.
8. Поляков А. Е., Стрыгин Л. В., Бобкович П. И. Влияние аддитивных составляющих на фазовые шумы делителя частоты в составе цифрового синтезатора частот // Труды МФТИ. 2009. Т. 1, №2. С. 107-120.
9. Тихонов В. И. Статистическая радиотехника. М.: Сов.радио, 1966.
10. Drakhlis B. Calculate Oscillator Jitter by Using Phase-Noise Analysis// Microwaves&RF. 2001. V. 157. P. 82-90.
11. ТелешевскийВ. И., ГришинС. Г. Цифроваяобработкаизмерительныхсигналовгетеродинныхлазерныхинтерферометровсиспользованиемпрограммируемойлогики // Междун.науч.-техн.интернет-конф.«НанотехнологиятехнологияXXIвека».М.: Изд-воМГОУ, 2004. С. 17-28.
12. Teleshevsky V. I., Grishin S.G.Digitaltransformationsofthephasemeasurementinformationinthehighresolutionheterodynelaserinterferometry // Proc.SPIE. 2008. V. 7006. P. 70060E-1-70060E-7.
13. Чмых М. К. Цифровая фазометрия. М. : Радио и связь, 1993.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2014;(1):17-21. (In Russ.)
Views:
86
Email this article 