izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-570Research ArticleОБЩИЕ ВОПРОСЫ МЕТРОЛОГИИ И ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКИGENERAL PROBLEMS OF METROLOGY AND MEASUREMENT TECHNIQUESАнализ фазовых шумов в гетеродиннойинтерферометрии с акустооптическим преобразованием частоты светаГришинС. Г.noemail@neicon.ruТелешевскийВ. И.noemail@neicon.ruМосковский государственный технологический университет “CТАНКИН”Russian Federation201407022023011721Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/570

Рассмотрены составляющие фазового шума и проведена оценка их уровня применительно к гетеродинной интерферометриис акустооптическим преобразованием частоты света

The components of phase noise are considered and the estimation of their level for heterodyne interferometry for linear and angular measurements with acousto-optic transformation of light frequency is carryied out.

фазовые шумыгетеродинная интерферометриялазерная измерительная системаphase noiseheterodyne interferometrylaser measurement systemReferencesТелешевский В. И., СоколовВ. А. Лазерная коррекция геометрических погрешностей многокоординатных систем с программным управлением // Измерительная техника. 2012. №5. С. 33-37;Teleshevskii V. I., Sokolov V. A. Lasercorrectionofgeometricerrorsofmulti-axisprogrammed-controlledsystems // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N. 5. P. 535-541.Телешевский В. И., СоколовВ. А. Лазерная коррекция геометрических погрешностей многокоординатных систем с программным управлением // Измерительная техника. 2012. №5. С. 33-37;Teleshevskii V. I., Sokolov V. A. Lasercorrectionofgeometricerrorsofmulti-axisprogrammed-controlledsystems // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N. 5. P. 535-541.Телешевский В. И. Гетеродинныеметодылазернойинтерферометриинаосновеакустическоймодуляциисвета // Измерительнаятехника. 1975. №1. С. 42-45;Teleshevskii V. I.Heterodyne methods of laser interferometry on the basis of acoustic light modulation // Measurement Techniques. 1975. V. 18. N. 1. P. 70-74.Телешевский В. И. Гетеродинныеметодылазернойинтерферометриинаосновеакустическоймодуляциисвета // Измерительнаятехника. 1975. №1. С. 42-45;Teleshevskii V. I.Heterodyne methods of laser interferometry on the basis of acoustic light modulation // Measurement Techniques. 1975. V. 18. N. 1. P. 70-74.Teleshevsky V. I. Heterodyne laser interferometry for measuring of form and position deviation in nanotechnology // Proc. 4thсonf.on Ultraprec.in Manufact.Eng. Braunschweig, Germany.1997. V. 1. P. 35-40.Teleshevsky V. I. Heterodyne laser interferometry for measuring of form and position deviation in nanotechnology // Proc. 4thсonf.on Ultraprec.in Manufact.Eng. Braunschweig, Germany.1997. V. 1. P. 35-40.ДарзнекС. А.идр.Лазерныйинтерферометрическийизмерительнаноперемещений// Тр.ин-та общей физики им. А. М. Прохорова РАН. 2006. Т. 62. С. 14-37.ДарзнекС. А.идр.Лазерныйинтерферометрическийизмерительнаноперемещений// Тр.ин-та общей физики им. А. М. Прохорова РАН. 2006. Т. 62. С. 14-37.Желкобаев Ж. Е., Календин В. В., Тодуа П. А. Метрологическое обеспечение лазерной интерферометрии - фазометрии // Вестник С.-Петербургского отд. Академии инженерных наук им. А. М. Прохорова. СПб. : Изд-во Политехнического ун-та, 2007. №3. С. 102-123.Желкобаев Ж. Е., Календин В. В., Тодуа П. А. Метрологическое обеспечение лазерной интерферометрии - фазометрии // Вестник С.-Петербургского отд. Академии инженерных наук им. А. М. Прохорова. СПб. : Изд-во Политехнического ун-та, 2007. №3. С. 102-123.Гришин С. Г. Оценка фазовой погрешности в гетеродинных лазерных интерференционных измерительных системах // Измерительная техника. 2011. №8. С. 11-13;Grishin S. G. Estimatingphaseerrorinheterodynelaserinterferometermeasurementsystems // MeasurementTechniques. 2011. V. 54. N. 8. P. 865-868.Гришин С. Г. Оценка фазовой погрешности в гетеродинных лазерных интерференционных измерительных системах // Измерительная техника. 2011. №8. С. 11-13;Grishin S. G. Estimatingphaseerrorinheterodynelaserinterferometermeasurementsystems // MeasurementTechniques. 2011. V. 54. N. 8. P. 865-868.Росс М. Лазерные приемники / Пер. с англ. М.: Мир, 1969.Росс М. Лазерные приемники / Пер. с англ. М.: Мир, 1969.Поляков А. Е., Стрыгин Л. В., Бобкович П. И. Влияние аддитивных составляющих на фазовые шумы делителя частоты в составе цифрового синтезатора частот // Труды МФТИ. 2009. Т. 1, №2. С. 107-120.Поляков А. Е., Стрыгин Л. В., Бобкович П. И. Влияние аддитивных составляющих на фазовые шумы делителя частоты в составе цифрового синтезатора частот // Труды МФТИ. 2009. Т. 1, №2. С. 107-120.Тихонов В. И. Статистическая радиотехника. М.: Сов.радио, 1966.Тихонов В. И. Статистическая радиотехника. М.: Сов.радио, 1966.Drakhlis B. Calculate Oscillator Jitter by Using Phase-Noise Analysis// Microwaves&RF. 2001. V. 157. P. 82-90.Drakhlis B. Calculate Oscillator Jitter by Using Phase-Noise Analysis// Microwaves&RF. 2001. V. 157. P. 82-90.ТелешевскийВ. И., ГришинС. Г. Цифроваяобработкаизмерительныхсигналовгетеродинныхлазерныхинтерферометровсиспользованиемпрограммируемойлогики // Междун.науч.-техн.интернет-конф.«НанотехнологиятехнологияXXIвека».М.: Изд-воМГОУ, 2004. С. 17-28.ТелешевскийВ. И., ГришинС. Г. Цифроваяобработкаизмерительныхсигналовгетеродинныхлазерныхинтерферометровсиспользованиемпрограммируемойлогики // Междун.науч.-техн.интернет-конф.«НанотехнологиятехнологияXXIвека».М.: Изд-воМГОУ, 2004. С. 17-28.Teleshevsky V. I., Grishin S.G.Digitaltransformationsofthephasemeasurementinformationinthehighresolutionheterodynelaserinterferometry // Proc.SPIE. 2008. V. 7006. P. 70060E-1-70060E-7.Teleshevsky V. I., Grishin S.G.Digitaltransformationsofthephasemeasurementinformationinthehighresolutionheterodynelaserinterferometry // Proc.SPIE. 2008. V. 7006. P. 70060E-1-70060E-7.Чмых М. К. Цифровая фазометрия. М. : Радио и связь, 1993.Чмых М. К. Цифровая фазометрия. М. : Радио и связь, 1993.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.