|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Использование информационной избыточности в оптических цифровых измерительных системах
Аннотация
Рассмотрен единый подход к организации измерений в оптических цифровых измерительных системах с 2D-сенсором. Предложенный подход основан на более полном употреблении информационной избыточности, а именно, применении координатной информации об объекте, распределённой по всему полю изображения. На примере автоколлимационных приборов показана эффективность этого подхода. Приведены результаты модельных и экспериментальных исследований, подтверждающих возможность повышения точности приборов при использовании многоэлементной марки и координатной информации по всему информационному полю. Сформулированы основные проблемы развития и внедрения данного подхода.
Об авторах
А. Н. Королёв
ООО «Оптические цифровые измерительные системы»
Россия
Россия
А. Я. Лукин
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Россия
Россия
Г. С. Полищук
ОАО «ЛОМО»
Россия
Россия
Список литературы
1. Бельский А. Б., Ган М., Миронов И., Сейсян Р. П. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 59-69.
2. Королёв А. Н., Гарцуев А. И. Исследование точности позиционирования изображения на ПЗС матрице // Измерительная техника. 2004. № 5. С. 20-22.
3. Geckeler R., Krause M., Just A., Kranz O., Bosse H. New frontiers in angle metrology at the PTB // Measurement. 2015. V. 73. P. 231-238.
4. Chen Z., Huang P. S. A vision-based method for planar position measurement // Meas. Sci. Technol. 2016. N. 27. P. 125018.
5. Suzuki T., Endo T., Sasaki O., Greivenkamp J. E. Two-dimensional small-rotation-angle measurement using an imaging method // Optical Engineering. 2006. N. 45(4). P. 043604.
6. Hsu C. J., Lu M., Lu Y. Distance and angle Measurement of objects on an oblique plane based on pixel number variation of CCD images // IEEE Trans. Inst. & Meas. 2011. V. 60. N. 5. P. 1779-1794.
7. Feng C., Kajima M., Gonda S., Minoshima K., Fujimoto H., Zeng L. Accurate measurement of orthogonality of equal-period, two-dimensional gratings by an interferometric method // Metrologia. 2012. V. 49. P.236-244.
8. Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Цифровой двухкоординатный автоколлиматор // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 10. С. 42-47.
9. Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 25-27.
10. Гончаров Н. В. Обзор современной углоизмерительной техники // Фотоника. 2014. № 1. C. 64-72.
11. Харитонова Е. Н. Определение оптимальных формы и размера маркера цифрового автоколлиматора // Измерительная техника. 2011. № 5. С. 22-25.
12. Geckeler, R. D., Just, A., Krause, M., Yashchuck, V. V., Autocollimators for deflectometry: Current status and future progress // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. 2010. A. 616. P. 140-146.
13. Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С. Новая концепция измерения угла; модельные и экспериментальные исследования // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 52-58.
14. Eves B. J. The NRC autocollimator calibration facility // Metrologia. 2013. V. 50. P. 433-440.
15. Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С., Трегуб В. П. Оптический цифровой автоматизированный измеритель отклонений от прямолинейности // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 45-50.
Рецензия
Для цитирования:
Королёв А.Н., Лукин А.Я., Полищук Г.С. Использование информационной избыточности в оптических цифровых измерительных системах. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2017;(3):29-33.
Просмотров:
83
Послать статью по эл. почте 