<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">izmertech</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Измерительная техника</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Izmeritel`naya Tekhnika</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">0368-1025</issn><issn pub-type="epub">2949-5237</issn><publisher><publisher-name>ФГУП "ВНИИФТРИ"</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">izmertech-371</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>OPTICOPHYSICAL MEASUREMENTS</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Использование информационной избыточности в оптических цифровых измерительных системах</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title></trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Королёв</surname><given-names>А. Н.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">a.korolev@optotech.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Лукин</surname><given-names>А. Я.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Полищук</surname><given-names>Г. С.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib></contrib-group><aff xml:lang="ru" id="aff-1"><institution>ООО «Оптические цифровые измерительные системы»</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-2"><institution>Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-3"><institution>ОАО «ЛОМО»</institution><country>Russian Federation</country></aff><pub-date pub-type="collection"><year>2017</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>07</day><month>02</month><year>2023</year></pub-date><volume>0</volume><issue>3</issue><fpage>29</fpage><lpage>33</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; ФГУП "ВНИИФТРИ", 2023</copyright-statement><copyright-year>2023</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">ФГУП "ВНИИФТРИ"</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">ФГУП "ВНИИФТРИ"</copyright-holder><license xlink:href="https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNotice" xlink:type="simple"><license-p>https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNotice</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://www.izmt.ru/jour/article/view/371">https://www.izmt.ru/jour/article/view/371</self-uri><abstract><p>Рассмотрен единый подход к организации измерений в оптических цифровых измерительных системах с 2D-сенсором. Предложенный подход основан на более полном употреблении информационной избыточности, а именно, применении координатной информации об объекте, распределённой по всему полю изображения. На примере автоколлимационных приборов показана эффективность этого подхода. Приведены результаты модельных и экспериментальных исследований, подтверждающих возможность повышения точности приборов при использовании многоэлементной марки и координатной информации по всему информационному полю. Сформулированы основные проблемы развития и внедрения данного подхода.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>In article is reviewed uniform method of the organization of measurements in optical digital measuring systems with a 2D-sensor, based on full use of information redundancy, namely, use of coordinate information on the object, distributed on all of an image field. Efficiency of the reviewed method is shown on the example of autocollimators. Results of the simulation and experiments confirm possibility to increase accuracy of devices to ten times which use multi-element mark and coordinate information on all information field. The main problems of development and using of the reviewed method are formulated.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>светочувствительная матрица</kwd><kwd>оптическая марка</kwd><kwd>координаты изображения марки</kwd><kwd>обработка изображений</kwd><kwd>математическая модель</kwd><kwd>optical sensor</kwd><kwd>optical mask</kwd><kwd>mask image coordinates</kwd><kwd>image processing</kwd><kwd>mathematical model</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Бельский А. Б., Ган М., Миронов И., Сейсян Р. П. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 59-69.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Бельский А. Б., Ган М., Миронов И., Сейсян Р. П. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 59-69.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Королёв А. Н., Гарцуев А. И. Исследование точности позиционирования изображения на ПЗС матрице // Измерительная техника. 2004. № 5. С. 20-22.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Королёв А. Н., Гарцуев А. И. Исследование точности позиционирования изображения на ПЗС матрице // Измерительная техника. 2004. № 5. С. 20-22.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Geckeler R., Krause M., Just A., Kranz O., Bosse H. New frontiers in angle metrology at the PTB // Measurement. 2015. V. 73. P. 231-238.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Geckeler R., Krause M., Just A., Kranz O., Bosse H. New frontiers in angle metrology at the PTB // Measurement. 2015. V. 73. P. 231-238.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Chen Z., Huang P. S. A vision-based method for planar position measurement // Meas. Sci. Technol. 2016. N. 27. P. 125018.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Chen Z., Huang P. S. A vision-based method for planar position measurement // Meas. Sci. Technol. 2016. N. 27. P. 125018.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Suzuki T., Endo T., Sasaki O., Greivenkamp J. E. Two-dimensional small-rotation-angle measurement using an imaging method // Optical Engineering. 2006. N. 45(4). P. 043604.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Suzuki T., Endo T., Sasaki O., Greivenkamp J. E. Two-dimensional small-rotation-angle measurement using an imaging method // Optical Engineering. 2006. N. 45(4). P. 043604.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Hsu C. J., Lu M., Lu Y. Distance and angle Measurement of objects on an oblique plane based on pixel number variation of CCD images // IEEE Trans. Inst. &amp; Meas. 2011. V. 60. N. 5. P. 1779-1794.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Hsu C. J., Lu M., Lu Y. Distance and angle Measurement of objects on an oblique plane based on pixel number variation of CCD images // IEEE Trans. Inst. &amp; Meas. 2011. V. 60. N. 5. P. 1779-1794.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Feng C., Kajima M., Gonda S., Minoshima K., Fujimoto H., Zeng L. Accurate measurement of orthogonality of equal-period, two-dimensional gratings by an interferometric method // Metrologia. 2012. V. 49. P.236-244.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Feng C., Kajima M., Gonda S., Minoshima K., Fujimoto H., Zeng L. Accurate measurement of orthogonality of equal-period, two-dimensional gratings by an interferometric method // Metrologia. 2012. V. 49. P.236-244.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Цифровой двухкоординатный автоколлиматор // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 10. С. 42-47.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Цифровой двухкоординатный автоколлиматор // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 10. С. 42-47.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 25-27.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 25-27.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Гончаров Н. В. Обзор современной углоизмерительной техники // Фотоника. 2014. № 1. C. 64-72.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Гончаров Н. В. Обзор современной углоизмерительной техники // Фотоника. 2014. № 1. C. 64-72.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Харитонова Е. Н. Определение оптимальных формы и размера маркера цифрового автоколлиматора // Измерительная техника. 2011. № 5. С. 22-25.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Харитонова Е. Н. Определение оптимальных формы и размера маркера цифрового автоколлиматора // Измерительная техника. 2011. № 5. С. 22-25.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Geckeler, R. D., Just, A., Krause, M., Yashchuck, V. V., Autocollimators for deflectometry: Current status and future progress // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. 2010. A. 616. P. 140-146.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Geckeler, R. D., Just, A., Krause, M., Yashchuck, V. V., Autocollimators for deflectometry: Current status and future progress // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. 2010. A. 616. P. 140-146.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С. Новая концепция измерения угла; модельные и экспериментальные исследования // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 52-58.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С. Новая концепция измерения угла; модельные и экспериментальные исследования // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 52-58.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Eves B. J. The NRC autocollimator calibration facility // Metrologia. 2013. V. 50. P. 433-440.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Eves B. J. The NRC autocollimator calibration facility // Metrologia. 2013. V. 50. P. 433-440.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit15"><label>15</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С., Трегуб В. П. Оптический цифровой автоматизированный измеритель отклонений от прямолинейности // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 45-50.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С., Трегуб В. П. Оптический цифровой автоматизированный измеритель отклонений от прямолинейности // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 45-50.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
