сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Измерение параметров полупроводниковых приборов на пластине
Аннотация
Рассмотрен метод измерений S -параметров полупроводниковых приборов с помощью векторного анализатора цепей и зондовой станции в миллиметровом диапазоне частот. Высокая точность измерений достигнута последовательным исключением всех источников погрешностей. Приведены соотношения, связывающие эффективные параметры измерительной системы и максимальную погрешность. Выполнен эксперимент и показаны результаты в сравнении с аналогичными исследованиями.
Об авторах
А. А. Савин
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Россия
Россия
В. Г. Губа
Научно-производственная компания «ТАИР»
Россия
Россия
О. Н. Быкова
Научно-производственная компания «ТАИР»
Россия
Россия
Список литературы
1. Рясный Ю. В., Чашков М. С., Борисов А. В. Анализ метода измерения S-параметров транзисторов СВЧ // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 61-63.
2. Engen G. F., Hoer C.A. Thru-Reflect-Line: An Improved Technique for Calibrating the Dual 6-Port Automatic Network Analyzer // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1979. V. MTT-27. N. 12. P. 987-993.
3. Hoer C. A. Performance of a Dual Six-Port Automatic Network Analyzer // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1979. V. MTT-27. N. 12. P. 993-998.
4. Губа В. Г., Ладур А. А., Савин А. А. Классификация и анализ методов калибровки векторных анализаторов цепей // Доклады ТУСУРа. 2011. № 2(24). ч. 1. С. 149-155.
5. Rytting D. K. Network Analyzer Error Models and Calibration Methods // 62nd ARFTG Microwave Meas. Conf. Short Course Notes. USA Dec. 2003. [Электрон. ресурс]: http://emlab.uiuc.edu/ece451_f14/appnotes /Rytting_NAModels.pdf (дата обращения 22.03.2015)
6. Добуш И. М. Исследование методов деэмбеддинга «Open», «Open-Short», «Open-Short-Thru» для зондовых измерений параметров рассеяния элементов СВЧ-монолитных интегральных схем // Доклады ТУСУРа. 2014. № 4(34). С. 138-145.
7. Савин А. А., Губа В. Г. Определение уровня остаточной систематической погрешности векторного анализатора цепей после выполнения однопортовой калибровки // Вестник метролога. 2009. № 4. С. 16-21.
8. Williams D. F., Marks R. B., Davidson A. Comparison of on-wafer calibrations // 38th ARFTG Microwave Meas Conf. USA. 1991. V. 20. P. 68-81.
9. Marks R. B. A multiline method of network analyzer calibration // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1991. V. 39, N. 7. P. 1205-1215,
10. Savin A. A. A Novel Factor Verification Technique for One-Port Vector Network Analyzer // Proc. 43rd Europ. Microwave Conf. Germany, 2013. P. 60-63.
11. Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxson B. D. Estimation of Complex Residual Errors of Calibrated Two-Port Vector Network Analyzer // 83rd ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2014. P. 1-4.
12. Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxon B. D., Schubert D., Arz U. Adaptive Estimation of Complex Calibration Residual Errors of Wafer-Level S-Parameters Meas. System // 84th ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2014. P. 1-4.
13. Doerner R., Rumiantsev A. Verification of the wafer-level LRM+ calibration technique for GaAs applications up to 110 GHz // 65th ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2005. P. 1-5.
14. Rumiantsev A., Sweeney S.L., Corson P.L. Comparison of on-wafer multiline TRL and LRM+ calibrations for RF CMOS applications // 72nd ARFTG Microwave Meas. Conf, USA. 2008. P. 132-136.
15. МИ 3411-2013. ГСИ. Анализаторы цепей векторные. Методика определения метрологических характеристик.
Рецензия
Для цитирования:
Савин А.А., Губа В.Г., Быкова О.Н. Измерение параметров полупроводниковых приборов на пластине. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(7):56-61.
Просмотров:
100
Послать статью по эл. почте 