izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-275Research ArticleРАДИОТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯRADIO MEASUREMENTSИзмерение параметров полупроводниковых приборов на пластинеСавинА. А.saasavin@mail.ruГубаВ. Г.noemail@neicon.ruБыковаО. Н.noemail@neicon.ruТомский государственный университет систем управления и радиоэлектроникиRussian FederationНаучно-производственная компания «ТАИР»Russian Federation201607022023075661Copyright © Савин А.А., Губа В.Г., Быкова О.Н., 20232023Савин А.А., Губа В.Г., Быкова О.Н.Савин А.А., Губа В.Г., Быкова О.Н.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/275

Рассмотрен метод измерений S -параметров полупроводниковых приборов с помощью векторного анализатора цепей и зондовой станции в миллиметровом диапазоне частот. Высокая точность измерений достигнута последовательным исключением всех источников погрешностей. Приведены соотношения, связывающие эффективные параметры измерительной системы и максимальную погрешность. Выполнен эксперимент и показаны результаты в сравнении с аналогичными исследованиями.

Features of an S -parameters measuring method of semiconductor devices using a vector network analyzer and probe station are reviewed. The exclusion of all error sources is required for high-precision measurements. The relations between effective parameters of the measuring system and maximum error are presented. An experiment was made, and the results are shown in comparison with similar experiments.

векторный анализатор цепейзондовая станцияполупроводниковая пластинаS-параметрыvector network analyzerprobe stationsemiconductor waferS-parametersReferencesРясный Ю. В., Чашков М. С., Борисов А. В. Анализ метода измерения S-параметров транзисторов СВЧ // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 61-63.Рясный Ю. В., Чашков М. С., Борисов А. В. Анализ метода измерения S-параметров транзисторов СВЧ // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 61-63.Engen G. F., Hoer C.A. Thru-Reflect-Line: An Improved Technique for Calibrating the Dual 6-Port Automatic Network Analyzer // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1979. V. MTT-27. N. 12. P. 987-993.Engen G. F., Hoer C.A. Thru-Reflect-Line: An Improved Technique for Calibrating the Dual 6-Port Automatic Network Analyzer // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1979. V. MTT-27. N. 12. P. 987-993.Hoer C. A. Performance of a Dual Six-Port Automatic Network Analyzer // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1979. V. MTT-27. N. 12. P. 993-998.Hoer C. A. Performance of a Dual Six-Port Automatic Network Analyzer // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1979. V. MTT-27. N. 12. P. 993-998.Губа В. Г., Ладур А. А., Савин А. А. Классификация и анализ методов калибровки векторных анализаторов цепей // Доклады ТУСУРа. 2011. № 2(24). ч. 1. С. 149-155.Губа В. Г., Ладур А. А., Савин А. А. Классификация и анализ методов калибровки векторных анализаторов цепей // Доклады ТУСУРа. 2011. № 2(24). ч. 1. С. 149-155.Rytting D. K. Network Analyzer Error Models and Calibration Methods // 62nd ARFTG Microwave Meas. Conf. Short Course Notes. USA Dec. 2003. [Электрон. ресурс]: http://emlab.uiuc.edu/ece451_f14/appnotes /Rytting_NAModels.pdf (дата обращения 22.03.2015)Rytting D. K. Network Analyzer Error Models and Calibration Methods // 62nd ARFTG Microwave Meas. Conf. Short Course Notes. USA Dec. 2003. [Электрон. ресурс]: http://emlab.uiuc.edu/ece451_f14/appnotes /Rytting_NAModels.pdf (дата обращения 22.03.2015)Добуш И. М. Исследование методов деэмбеддинга «Open», «Open-Short», «Open-Short-Thru» для зондовых измерений параметров рассеяния элементов СВЧ-монолитных интегральных схем // Доклады ТУСУРа. 2014. № 4(34). С. 138-145.Добуш И. М. Исследование методов деэмбеддинга «Open», «Open-Short», «Open-Short-Thru» для зондовых измерений параметров рассеяния элементов СВЧ-монолитных интегральных схем // Доклады ТУСУРа. 2014. № 4(34). С. 138-145.Савин А. А., Губа В. Г. Определение уровня остаточной систематической погрешности векторного анализатора цепей после выполнения однопортовой калибровки // Вестник метролога. 2009. № 4. С. 16-21.Савин А. А., Губа В. Г. Определение уровня остаточной систематической погрешности векторного анализатора цепей после выполнения однопортовой калибровки // Вестник метролога. 2009. № 4. С. 16-21.Williams D. F., Marks R. B., Davidson A. Comparison of on-wafer calibrations // 38th ARFTG Microwave Meas Conf. USA. 1991. V. 20. P. 68-81.Williams D. F., Marks R. B., Davidson A. Comparison of on-wafer calibrations // 38th ARFTG Microwave Meas Conf. USA. 1991. V. 20. P. 68-81.Marks R. B. A multiline method of network analyzer calibration // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1991. V. 39, N. 7. P. 1205-1215,Marks R. B. A multiline method of network analyzer calibration // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 1991. V. 39, N. 7. P. 1205-1215,Savin A. A. A Novel Factor Verification Technique for One-Port Vector Network Analyzer // Proc. 43rd Europ. Microwave Conf. Germany, 2013. P. 60-63.Savin A. A. A Novel Factor Verification Technique for One-Port Vector Network Analyzer // Proc. 43rd Europ. Microwave Conf. Germany, 2013. P. 60-63.Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxson B. D. Estimation of Complex Residual Errors of Calibrated Two-Port Vector Network Analyzer // 83rd ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2014. P. 1-4.Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxson B. D. Estimation of Complex Residual Errors of Calibrated Two-Port Vector Network Analyzer // 83rd ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2014. P. 1-4.Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxon B. D., Schubert D., Arz U. Adaptive Estimation of Complex Calibration Residual Errors of Wafer-Level S-Parameters Meas. System // 84th ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2014. P. 1-4.Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxon B. D., Schubert D., Arz U. Adaptive Estimation of Complex Calibration Residual Errors of Wafer-Level S-Parameters Meas. System // 84th ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2014. P. 1-4.Doerner R., Rumiantsev A. Verification of the wafer-level LRM+ calibration technique for GaAs applications up to 110 GHz // 65th ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2005. P. 1-5.Doerner R., Rumiantsev A. Verification of the wafer-level LRM+ calibration technique for GaAs applications up to 110 GHz // 65th ARFTG Microwave Meas. Conf. USA. 2005. P. 1-5.Rumiantsev A., Sweeney S.L., Corson P.L. Comparison of on-wafer multiline TRL and LRM+ calibrations for RF CMOS applications // 72nd ARFTG Microwave Meas. Conf, USA. 2008. P. 132-136.Rumiantsev A., Sweeney S.L., Corson P.L. Comparison of on-wafer multiline TRL and LRM+ calibrations for RF CMOS applications // 72nd ARFTG Microwave Meas. Conf, USA. 2008. P. 132-136.МИ 3411-2013. ГСИ. Анализаторы цепей векторные. Методика определения метрологических характеристик.МИ 3411-2013. ГСИ. Анализаторы цепей векторные. Методика определения метрологических характеристик.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.