Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопапри измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда
Abstract
About the Authors
В. АльзобаRussian Federation
А. Кузин
Russian Federation
Ю. Ларионов
Russian Federation
А. Раков
Russian Federation
П. Тодуа
Russian Federation
М. Филиппов
Russian Federation
References
1. David C. Joy Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysys// Oxford University Press. USA, 1995
2. Волк Ч.П. и др. Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа // Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Труды ИОФАН. М.:Наука, 2006. С. 77–120.
3. Filippov M.N.e. a. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements // Proc. SPIE. 2010. V. 7521.P. 7521161-9.
4. Данилова М.А.и др. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии// Измерительная техника. 2008. №8. C. 20–23;
5. Danilova M. A. e. a. A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N 8. P. 839–843.
6. Novikov Yu. A. e. a. Test objects with right- ang led and trapezoidal profiles of the relief elements // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 704208-1 – 704208-12.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2012;(8):40- 43. (In Russ.)