Preview

Izmeritel`naya Tekhnika

Advanced search

Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопапри измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда

Abstract

An estimation of methodological error of object geometrical parameters measurementsusing the scanning electron microscope (SEM) electron probe defocusing method was carried out. This error caused by the dependence of measurement result on the probe parameters. It is shown that this error can be reduced to the loved of random error by choosing of optimal parameters of the probe.

About the Authors

В. Альзоба
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation


А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation


Ю. Ларионов
Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, Москва
Russian Federation


А. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation


П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation


М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, Москва
Russian Federation


References

1. David C. Joy Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysys// Oxford University Press. USA, 1995

2. Волк Ч.П. и др. Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа // Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Труды ИОФАН. М.:Наука, 2006. С. 77–120.

3. Filippov M.N.e. a. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements // Proc. SPIE. 2010. V. 7521.P. 7521161-9.

4. Данилова М.А.и др. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии// Измерительная техника. 2008. №8. C. 20–23;

5. Danilova M. A. e. a. A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N 8. P. 839–843.

6. Novikov Yu. A. e. a. Test objects with right- ang led and trapezoidal profiles of the relief elements // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 704208-1 – 704208-12.


Review

For citations:


 ,  ,  ,  ,  ,   . Izmeritel`naya Tekhnika. 2012;(8):40- 43. (In Russ.)

Views: 54


Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 0368-1025 (Print)
ISSN 2949-5237 (Online)