Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопапри измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда
Аннотация
Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда растрового электронного микроскопа, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда. Показано, что эта погрешность может быть уменьшена путемвыбора оптимальных параметров зонда, при которых реальные условия измерений в наилучшей степени соответствуют требованиям расчетной модели.
Об авторах
В. В. Альзоба
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
Ю. В. Ларионов
Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, Москва
Россия
Россия
А. В. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. David C. Joy Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysys// Oxford University Press. USA, 1995
2. Волк Ч.П. и др. Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа // Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Труды ИОФАН. М.:Наука, 2006. С. 77–120.
3. Filippov M.N.e. a. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements // Proc. SPIE. 2010. V. 7521.P. 7521161-9.
4. Данилова М.А.и др. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии// Измерительная техника. 2008. №8. C. 20–23;
5. Danilova M. A. e. a. A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N 8. P. 839–843.
6. Novikov Yu. A. e. a. Test objects with right- ang led and trapezoidal profiles of the relief elements // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 704208-1 – 704208-12.
Рецензия
Для цитирования:
Альзоба В.В., Кузин А.Ю., Ларионов Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопапри измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(8):40- 43.
Просмотров:
52
Послать статью по эл. почте 