Эталонные средства измерений в оптической интерферометрии высокого разрешения
Аннотация
Рассмотрен комплекс эталонных средств измерений в составе набора эталонных мер высоты ступеньки и величины периода, предназначенных для трехмерной калибровки контрольно-измерительного оборудования на основе интерференционных оптических и сканирующих зондовых микроскопов, применяемых для измерения малых расстояний.
Ключевые слова
эталонные меры высоты ступеньки,
калибровка,
профилометр,
нанометр,
step height standard,
calibration,
profilometer,
nanometer
Об авторах
Н. Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений,Москва
Россия
Россия
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. ISO/TR 14999-1:2005.Optics and photonics.Interferomotric measurement of optical elements and optical systems. Part 1: Terms, definitions and fundamental relationships.
2. ISO/TR 14999-2:2005.Optics and photonics.Interferomotric measurement of optical elements and optical systems. Part 2: Measurement and evaluation techniques.
3. ISO/TR 14999-3:2005.Optics and photonics.Interferomotric measurementof optical elements and optical systems. Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements.
Рецензия
Для цитирования:
Моисеев Н.Н., Золотаревский С.Ю. Эталонные средства измерений в оптической интерферометрии высокого разрешения. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(8):35-37.
Просмотров:
58
Послать статью по эл. почте 