Рассмотрен комплекс эталонных средств измерений в составе набора эталонных мер высоты ступеньки и величины периода, предназначенных для трехмерной калибровки контрольно-измерительного оборудования на основе интерференционных оптических и сканирующих зондовых микроскопов, применяемых для измерения малых расстояний.
The complex of standard measuring instruments in composition of a set of standard measures of values of height of step and value of period intended for the three-dimensional calibration of test equipment based on interference optical microscopes and scanning probe microscopes used for measurement of small distances is considered.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.