Методы калибровки эталонных плазменных излучателей с использованием электронного синхротрона с сильным магнитным полем

The methods of calibration of secondary standard plasma sources based on the use of synchrotron with strong magnetic field allowing to solve the problems of vacuum coupling of the accelerator and plasma source chambers and the problem of taking into account the degree of synchrotron radiation polarization were developed. The comparison of the storage ring and the electron synchrotron characteristics of radiation in the visible range using the telescope and the cooled CCD matrix ensures the absolutization of the relative synchrotron spectrum.

плазменные излучатели, синхротрон с сильным магнитным полем, электронное накопительное кольцо, ПЗС-матрица, радиометры-дозиметры, спектрорадиометры, plasma sources, electron synchrotron with strong magnetic field, electron storage ring, CCD matrix, radiometers, dosimeters, spectroradiometers

1. Richter M. e. a. Metrology of pulsed radiation for 157-nm lithography // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 7167–7172.

2. Banine V. e. a. The relationship between EUV source and the performance of an EUV lithographic system // Proc. SPIE. 2000. V. 3997. P. 126–135.

3. Золотаревский В. С. и др. Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 32–35;

4. Zolotarevskii Yu. M. e. a. Use of synchrotron radiation for studying multilayer nanostructures // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 772–777.

5. Beckhoff B. e. a. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. N 4344. P. 402–413.

6. Scholze F., Tummler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beamline // Metrologia. 2003. N 40. P. S224–S228.

7. Brandt G. e. a. High-accuracy detector calibration for EUV metrology at PTB // Proc. SPIE. 2002. N 4688. P. 680–689.

8. Аневский С. И. и др. Спектрорадиометрия оптического излучения. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 2000. Т. 2. С. 532 –533.

9. Аневский С. И. Исследование характеристик синхротронного излучения первичного и вторичных эталонных источников в режиме большого электронного сгустка // Метрология. 2002. № 1. C. 20–30.

10. Аневский С. И. Эталонные источники синхротронного излучения // Метрология. 2001. № 12. C. 15–30.

11. Аневский С. И. и др. Разработка и исследование измерительного комплекса энергетической яркости в области вакуумного и ближнего ультрафиолета на основе ПЗС-матриц // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 26–31;

12. Anevsky S. I. e. a. Development and study of a radiance measurement system based on a CCD array in the vacuum and near ultraviolet region // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 764–771.