Методы калибровки эталонных плазменных излучателей с использованием электронного синхротрона с сильным магнитным полем

Разработаны методы калибровки вторичных эталонных плазменных излучателей, основанные на использовании синхротрона с сильным магнитным полем, позволяющие решить проблемы как вакуумного сопряжения камеры ускорителя и камеры плазменного излучателя, так и учета степени поляризации синхротронного излучения. Показано, что компарирование характеристик синхротронного излучения накопительного кольца и электронного синхротрона в видимом диапазоне с использованием телескопа и охлаждаемой ПЗС-матрицы обеспечивает абсолютизацию относительного спектра синхротрона.

плазменные излучатели, синхротрон с сильным магнитным полем, электронное накопительное кольцо, ПЗС-матрица, радиометры-дозиметры, спектрорадиометры, plasma sources, electron synchrotron with strong magnetic field, electron storage ring, CCD matrix, radiometers, dosimeters, spectroradiometers

1. Richter M. e. a. Metrology of pulsed radiation for 157-nm lithography // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 7167–7172.

2. Banine V. e. a. The relationship between EUV source and the performance of an EUV lithographic system // Proc. SPIE. 2000. V. 3997. P. 126–135.

3. Золотаревский В. С. и др. Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 32–35;

4. Zolotarevskii Yu. M. e. a. Use of synchrotron radiation for studying multilayer nanostructures // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 772–777.

5. Beckhoff B. e. a. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. N 4344. P. 402–413.

6. Scholze F., Tummler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beamline // Metrologia. 2003. N 40. P. S224–S228.

7. Brandt G. e. a. High-accuracy detector calibration for EUV metrology at PTB // Proc. SPIE. 2002. N 4688. P. 680–689.

8. Аневский С. И. и др. Спектрорадиометрия оптического излучения. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 2000. Т. 2. С. 532 –533.

9. Аневский С. И. Исследование характеристик синхротронного излучения первичного и вторичных эталонных источников в режиме большого электронного сгустка // Метрология. 2002. № 1. C. 20–30.

10. Аневский С. И. Эталонные источники синхротронного излучения // Метрология. 2001. № 12. C. 15–30.

11. Аневский С. И. и др. Разработка и исследование измерительного комплекса энергетической яркости в области вакуумного и ближнего ультрафиолета на основе ПЗС-матриц // Измерительная техника. 2010. № 7. C. 26–31;

12. Anevsky S. I. e. a. Development and study of a radiance measurement system based on a CCD array in the vacuum and near ultraviolet region // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N 7. P. 764–771.