Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Применение пьезоструктур для создания струнного измерительного преобразователя на основе автоколебательной системы
Abstract
The principle of operation of microelectromechanical self-maintained system based on a string sensitive element with use of a single-crystal silicon and piezoelectric films is described. The results of preliminary (qualitative) modeling of self-oscillatory system are presented and its certain features are described.
About the Authors
Е. Кучумов
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
И. Баринов
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Волков
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
С. Гурин
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
С. Евдокимов
Пензенский государственный университет
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Park J., Washington G. Smart material database compilation and material selection tool development // Ind. Com. Appl. Smart Struct. Tech. / M. B. McMickell, K. M. Farinholt // SPIE. 2010. P. 76450I-12.
2. Bandyopadhyay B. Control of vibrations in flexible smart structure using fast output sampling feedback technique / B. Bandyopadhyay, T. C. Manjunath // Int. J. Inform. Math. Sci. 2007. N. 3:2. P. 127-141.
3. Эткин Л. Г. Виброчастотные датчики. Теория и практика. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2004.
4. Давиденков Н. Н. Струнный метод измерения деформаций. Труды физико-технического института. Л.: ГТТИ, 1933.
5. Волков В. С., Баринов И. Н. Полупроводниковые датчики давления на основе резонансного преобразователя // Приборы. 2012. № 7. С. 9-13.
6. Баринов И. Н., Волков В. С., Баринов Н. И. Датчики давления на основе резонансного преобразователя с повышенной временной стабильностью метрологических и эксплуатационных характеристик // Датчики и системы. 2012. № 10. С. 6-9.
7. Вишневский А. С., Воротилов К. А., Жигалина О. М., Ланцев А. Н., Подгорный Ю. В., Серегин Д. С. Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 1. С. 15-20.
8. Dosch J. J., Leo D. J., Inman D. J. Modeling and control for vibration suppression of a flexible smart structures // Dynamics and control of structures in space II. 1993. P. 603-618.[Udjin4]
9. Челомей В. Н. Вибрация в технике: Справочник. Т. 1. Колебания линейных систем / Под ред. В. В. Болотина. М.: Машиностроение, 1978.
10. Пат. 2010122612/28 РФ. Резонансный преобразователь давления / Н. И. Баринов, И. Н. Баринов // Изобретения. Полезные модели. 2011. Бюл. № 32.
Review
For citations:
, , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2015;(6):49-52. (In Russ.)
Views:
66
Email this article 