izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1426Research ArticleМЕХАНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯMECHANICAL MEASUREMENTSПрименение пьезоструктур для создания струнного измерительного преобразователя на основе автоколебательной системыКучумовЕ. В.evgenii_kuchumov@mail.ruБариновИ. Н.noemail@neicon.ruВолковВ. С.noemail@neicon.ruГуринС. А.noemail@neicon.ruЕвдокимовС. П.noemail@neicon.ruНаучно-исследовательский институт физических измеренийRussian FederationПензенский государственный университетRussian Federation201507022023064952Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1426

Описан принцип действия микроэлектромеханической автоколебательной системы на основе струнного чувствительного элемента с применением монокристаллического кремния и пьезокерамических пленок. Приведены результаты предварительного (качественного) моделирования такой системы, описаны ее особенности.

The principle of operation of microelectromechanical self-maintained system based on a string sensitive element with use of a single-crystal silicon and piezoelectric films is described. The results of preliminary (qualitative) modeling of self-oscillatory system are presented and its certain features are described.

автоколебанияпьезоматериалыструнный преобразовательмоделированиединамика колебанийautooscillationspiezomaterialsstring convertermodelingoscillation dynamicsReferencesPark J., Washington G. Smart material database compilation and material selection tool development // Ind. Com. Appl. Smart Struct. Tech. / M. B. McMickell, K. M. Farinholt // SPIE. 2010. P. 76450I-12.Park J., Washington G. Smart material database compilation and material selection tool development // Ind. Com. Appl. Smart Struct. Tech. / M. B. McMickell, K. M. Farinholt // SPIE. 2010. P. 76450I-12.Bandyopadhyay B. Control of vibrations in flexible smart structure using fast output sampling feedback technique / B. Bandyopadhyay, T. C. Manjunath // Int. J. Inform. Math. Sci. 2007. N. 3:2. P. 127-141.Bandyopadhyay B. Control of vibrations in flexible smart structure using fast output sampling feedback technique / B. Bandyopadhyay, T. C. Manjunath // Int. J. Inform. Math. Sci. 2007. N. 3:2. P. 127-141.Эткин Л. Г. Виброчастотные датчики. Теория и практика. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2004.Эткин Л. Г. Виброчастотные датчики. Теория и практика. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2004.Давиденков Н. Н. Струнный метод измерения деформаций. Труды физико-технического института. Л.: ГТТИ, 1933.Давиденков Н. Н. Струнный метод измерения деформаций. Труды физико-технического института. Л.: ГТТИ, 1933.Волков В. С., Баринов И. Н. Полупроводниковые датчики давления на основе резонансного преобразователя // Приборы. 2012. № 7. С. 9-13.Волков В. С., Баринов И. Н. Полупроводниковые датчики давления на основе резонансного преобразователя // Приборы. 2012. № 7. С. 9-13.Баринов И. Н., Волков В. С., Баринов Н. И. Датчики давления на основе резонансного преобразователя с повышенной временной стабильностью метрологических и эксплуатационных характеристик // Датчики и системы. 2012. № 10. С. 6-9.Баринов И. Н., Волков В. С., Баринов Н. И. Датчики давления на основе резонансного преобразователя с повышенной временной стабильностью метрологических и эксплуатационных характеристик // Датчики и системы. 2012. № 10. С. 6-9.Вишневский А. С., Воротилов К. А., Жигалина О. М., Ланцев А. Н., Подгорный Ю. В., Серегин Д. С. Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 1. С. 15-20.Вишневский А. С., Воротилов К. А., Жигалина О. М., Ланцев А. Н., Подгорный Ю. В., Серегин Д. С. Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 1. С. 15-20.Dosch J. J., Leo D. J., Inman D. J. Modeling and control for vibration suppression of a flexible smart structures // Dynamics and control of structures in space II. 1993. P. 603-618.[Udjin4]Dosch J. J., Leo D. J., Inman D. J. Modeling and control for vibration suppression of a flexible smart structures // Dynamics and control of structures in space II. 1993. P. 603-618.[Udjin4]Челомей В. Н. Вибрация в технике: Справочник. Т. 1. Колебания линейных систем / Под ред. В. В. Болотина. М.: Машиностроение, 1978.Челомей В. Н. Вибрация в технике: Справочник. Т. 1. Колебания линейных систем / Под ред. В. В. Болотина. М.: Машиностроение, 1978.Пат. 2010122612/28 РФ. Резонансный преобразователь давления / Н. И. Баринов, И. Н. Баринов // Изобретения. Полезные модели. 2011. Бюл. № 32.Пат. 2010122612/28 РФ. Резонансный преобразователь давления / Н. И. Баринов, И. Н. Баринов // Изобретения. Полезные модели. 2011. Бюл. № 32.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.