|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Спектрорадиометрия ультрафиолетового излучения
Abstract
The principles of construction of primary standard detectors and sources of UV-radiation are considered. As the primary standard radiation detectors the double ionization chamber, proportional counter and cryogenic radiometer with electrical displacement are used. Spectral the characteristics of primary standard synchrotron radiation source are described by J. Schwinger theory. The results of international key comparisons confirm the high precision of methods and equipment, developed in VNIIOFI.
Keywords
синхротронное излучение,
ионизационная камера,
электронное накопительное кольцо,
пропорциональный счетчик,
криогенный радиометр,
первичный эталонный приемник,
synchrotron radiation,
ionization chamber,
electron storage ring,
proportional counter,
cryogenic radiometer,
primary reference detector
About the Authors
С. Аневский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Иванов
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Крутиков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
О. Минаева
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Р. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Klein R., Meyer B., Rost D., Schmitz D., Veldkamp M., Weser J., Ulm G., Louis E., Yakshin A., Oestreich S., Bijkerk F. The new PTB-beamlines for high-accuracy EUV reflectometry at BESSY II // Proc. SPIE. 2000. V. 4146. P. 72-82.
2. Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Gottwald A., Klein R., Meyer B., Schwarz U.D., Thornagel R., Vogel K., Weser J., Ulm G. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. V. 4344. P. 402-413.
3. Rabus H., Persch V, Ulm G. Synchrotron-radiation operated cryogenic electrical-substitution radiometer as high-accuracy primary detector standard in the ultraviolet, vacuum ultraviolet, and soft-x-ray spectral ranges // Appl. Opt. 1997. N 36. P. 5421-5440.
4. Scholze F., Tümmler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beam-line // Metrologia. 2003. N 40. P. S224-S228.
5. Richter M., Johannsen U, Kuschnerus P., Kroth U., Rabus H., Ulm G., Werner L. The PTB high-accuracy spectral responsivity scale in the ultraviolet // Metrologia. 2000. N 37. P. 515-518.
6. Shaw P. S., Gupta R., Germer T.A., Arp U., Lucatorto T., Lykke K. R. Characterization of UV detectors at SURF III // Rev. Sci. Instrum. 2002. N 73. P. 1625-1628.
7. Аневский С. И., Золотаревский Ю. М., Иванов В. С., Крутиков В. Н., Минаева О. А., Минаев Р. В., Сенин Д. С. Использование синхротронного излучения для диагностики наноструктур методами УФ-спектрорадиометрии // Rusnanotech: 2-й междунар. форум по нанотехнологиям. М, 2009. С. 38-39.
8. Arp U., Friedman R., Furst M. L., Makar S., Shaw P. S. SURF III - an improved storage ring for radiometry // Metrologia. 2000. N 37. P. 357-360.
9. Anevsky S., Ivanov V., Kuznetsov V., Minaeva O., Morozov O., Pavlovitch M., Sapritsky V., Zolotarevsky Y., Vernyi A. Primary UV-radiation detector standards // Metrologia. 2003. V. 40. P. S25-S29.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2015;(11):26-30. (In Russ.)
Views:
85
Email this article 