Спектрорадиометрия ультрафиолетового излучения

Рассмотрены принципы построения первичных эталонных приемников и источников ультрафиолетового излучения. В качестве эталонных приемников излучения использованы двойная ионизационная камера, пропорциональный счетчик и криогенный радиометр с электрическим замещением, а эталонным источником является синхротронное излучение, спектральные характеристики которого описаны на основе теории Швингера. Представлены результаты международных ключевых сличений, подтверждающие высокую точность разработанных во ВНИИОФИ методов и аппаратуры.

синхротронное излучение, ионизационная камера, электронное накопительное кольцо, пропорциональный счетчик, криогенный радиометр, первичный эталонный приемник, synchrotron radiation, ionization chamber, electron storage ring, proportional counter, cryogenic radiometer, primary reference detector

1. Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Klein R., Meyer B., Rost D., Schmitz D., Veldkamp M., Weser J., Ulm G., Louis E., Yakshin A., Oestreich S., Bijkerk F. The new PTB-beamlines for high-accuracy EUV reflectometry at BESSY II // Proc. SPIE. 2000. V. 4146. P. 72-82.

2. Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Gottwald A., Klein R., Meyer B., Schwarz U.D., Thornagel R., Vogel K., Weser J., Ulm G. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. V. 4344. P. 402-413.

3. Rabus H., Persch V, Ulm G. Synchrotron-radiation operated cryogenic electrical-substitution radiometer as high-accuracy primary detector standard in the ultraviolet, vacuum ultraviolet, and soft-x-ray spectral ranges // Appl. Opt. 1997. N 36. P. 5421-5440.

4. Scholze F., Tümmler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beam-line // Metrologia. 2003. N 40. P. S224-S228.

5. Richter M., Johannsen U, Kuschnerus P., Kroth U., Rabus H., Ulm G., Werner L. The PTB high-accuracy spectral responsivity scale in the ultraviolet // Metrologia. 2000. N 37. P. 515-518.

6. Shaw P. S., Gupta R., Germer T.A., Arp U., Lucatorto T., Lykke K. R. Characterization of UV detectors at SURF III // Rev. Sci. Instrum. 2002. N 73. P. 1625-1628.

7. Аневский С. И., Золотаревский Ю. М., Иванов В. С., Крутиков В. Н., Минаева О. А., Минаев Р. В., Сенин Д. С. Использование синхротронного излучения для диагностики наноструктур методами УФ-спектрорадиометрии // Rusnanotech: 2-й междунар. форум по нанотехнологиям. М, 2009. С. 38-39.

8. Arp U., Friedman R., Furst M. L., Makar S., Shaw P. S. SURF III - an improved storage ring for radiometry // Metrologia. 2000. N 37. P. 357-360.

9. Anevsky S., Ivanov V., Kuznetsov V., Minaeva O., Morozov O., Pavlovitch M., Sapritsky V., Zolotarevsky Y., Vernyi A. Primary UV-radiation detector standards // Metrologia. 2003. V. 40. P. S25-S29.