izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1314Research ArticleК ЮБИЛЕЮ ВНИИОФИСпектрорадиометрия ультрафиолетового излученияАневскийС. И.anevsky@vniiofi.ruЗолотаревскийЮ. М.noemail@neicon.ruИвановВ. С.noemail@neicon.ruКрутиковВ. Н.noemail@neicon.ruМинаеваО. А.noemail@neicon.ruМинаевР. В.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измеренийRussian Federation2015070220230112630Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1314

Рассмотрены принципы построения первичных эталонных приемников и источников ультрафиолетового излучения. В качестве эталонных приемников излучения использованы двойная ионизационная камера, пропорциональный счетчик и криогенный радиометр с электрическим замещением, а эталонным источником является синхротронное излучение, спектральные характеристики которого описаны на основе теории Швингера. Представлены результаты международных ключевых сличений, подтверждающие высокую точность разработанных во ВНИИОФИ методов и аппаратуры.

The principles of construction of primary standard detectors and sources of UV-radiation are considered. As the primary standard radiation detectors the double ionization chamber, proportional counter and cryogenic radiometer with electrical displacement are used. Spectral the characteristics of primary standard synchrotron radiation source are described by J. Schwinger theory. The results of international key comparisons confirm the high precision of methods and equipment, developed in VNIIOFI.

синхротронное излучениеионизационная камераэлектронное накопительное кольцопропорциональный счетчиккриогенный радиометрпервичный эталонный приемникsynchrotron radiationionization chamberelectron storage ringproportional countercryogenic radiometerprimary reference detectorReferencesScholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Klein R., Meyer B., Rost D., Schmitz D., Veldkamp M., Weser J., Ulm G., Louis E., Yakshin A., Oestreich S., Bijkerk F. The new PTB-beamlines for high-accuracy EUV reflectometry at BESSY II // Proc. SPIE. 2000. V. 4146. P. 72-82.Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Klein R., Meyer B., Rost D., Schmitz D., Veldkamp M., Weser J., Ulm G., Louis E., Yakshin A., Oestreich S., Bijkerk F. The new PTB-beamlines for high-accuracy EUV reflectometry at BESSY II // Proc. SPIE. 2000. V. 4146. P. 72-82.Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Gottwald A., Klein R., Meyer B., Schwarz U.D., Thornagel R., Vogel K., Weser J., Ulm G. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. V. 4344. P. 402-413.Scholze F., Beckhoff B., Brandt G., Fliegauf R., Gottwald A., Klein R., Meyer B., Schwarz U.D., Thornagel R., Vogel K., Weser J., Ulm G. High-accuracy EUV metrology of PTB using synchrotron radiation // Proc. SPIE. 2001. V. 4344. P. 402-413.Rabus H., Persch V, Ulm G. Synchrotron-radiation operated cryogenic electrical-substitution radiometer as high-accuracy primary detector standard in the ultraviolet, vacuum ultraviolet, and soft-x-ray spectral ranges // Appl. Opt. 1997. N 36. P. 5421-5440.Rabus H., Persch V, Ulm G. Synchrotron-radiation operated cryogenic electrical-substitution radiometer as high-accuracy primary detector standard in the ultraviolet, vacuum ultraviolet, and soft-x-ray spectral ranges // Appl. Opt. 1997. N 36. P. 5421-5440.Scholze F., Tümmler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beam-line // Metrologia. 2003. N 40. P. S224-S228.Scholze F., Tümmler J., Ulm G. High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray radiometry beam-line // Metrologia. 2003. N 40. P. S224-S228.Richter M., Johannsen U, Kuschnerus P., Kroth U., Rabus H., Ulm G., Werner L. The PTB high-accuracy spectral responsivity scale in the ultraviolet // Metrologia. 2000. N 37. P. 515-518.Richter M., Johannsen U, Kuschnerus P., Kroth U., Rabus H., Ulm G., Werner L. The PTB high-accuracy spectral responsivity scale in the ultraviolet // Metrologia. 2000. N 37. P. 515-518.Shaw P. S., Gupta R., Germer T.A., Arp U., Lucatorto T., Lykke K. R. Characterization of UV detectors at SURF III // Rev. Sci. Instrum. 2002. N 73. P. 1625-1628.Shaw P. S., Gupta R., Germer T.A., Arp U., Lucatorto T., Lykke K. R. Characterization of UV detectors at SURF III // Rev. Sci. Instrum. 2002. N 73. P. 1625-1628.Аневский С. И., Золотаревский Ю. М., Иванов В. С., Крутиков В. Н., Минаева О. А., Минаев Р. В., Сенин Д. С. Использование синхротронного излучения для диагностики наноструктур методами УФ-спектрорадиометрии // Rusnanotech: 2-й междунар. форум по нанотехнологиям. М, 2009. С. 38-39.Аневский С. И., Золотаревский Ю. М., Иванов В. С., Крутиков В. Н., Минаева О. А., Минаев Р. В., Сенин Д. С. Использование синхротронного излучения для диагностики наноструктур методами УФ-спектрорадиометрии // Rusnanotech: 2-й междунар. форум по нанотехнологиям. М, 2009. С. 38-39.Arp U., Friedman R., Furst M. L., Makar S., Shaw P. S. SURF III - an improved storage ring for radiometry // Metrologia. 2000. N 37. P. 357-360.Arp U., Friedman R., Furst M. L., Makar S., Shaw P. S. SURF III - an improved storage ring for radiometry // Metrologia. 2000. N 37. P. 357-360.Anevsky S., Ivanov V., Kuznetsov V., Minaeva O., Morozov O., Pavlovitch M., Sapritsky V., Zolotarevsky Y., Vernyi A. Primary UV-radiation detector standards // Metrologia. 2003. V. 40. P. S25-S29.Anevsky S., Ivanov V., Kuznetsov V., Minaeva O., Morozov O., Pavlovitch M., Sapritsky V., Zolotarevsky Y., Vernyi A. Primary UV-radiation detector standards // Metrologia. 2003. V. 40. P. S25-S29.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.