Для цитирования:
Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н., Карабанов Д.А. Образование окисной пленки на поверхности кремниевой рельефной структуры в процессе плазменной очистки. Измерительная техника. 2015;(8):71-72.
Просмотров PDF (Rus): 7
JATS XML
Послать статью по эл. почте 