Измерение параметров шероховатости с использованием интерференционного микроскопа
Abstract
The procedure of measurement of parameters of the polished surface roughness in nanometer range by means of Linnik interference microscope with automatic decoding of interference patterns by phase steps method is considered.
About the Authors
Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
И. Цельмина
Раменский приборостроительный завод, Раменское
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Карташев А. И. Шероховатость поверхности и методы ее измерения. М.: Изд-во гос. комитета стандартов, мер и измерительных приборов СССР, 1964.
2. Егоров В. А. Оптические и щуповые приборы для измерения шероховатости поверхности. М.: Машиностроение, 1965.
3. Уайтхауз Д. Метрология поверхностей. Принципы, промышленные методы и приборы. Долгопрудный: Издат. дом «Интеллект», 2009.
4. ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.
5. ГОСТ 9847–79. Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2012;(9):19- 21. (In Russ.)
Views:
73
Email this article 