Измерение параметров шероховатости с использованием интерференционного микроскопа
Аннотация
Рассмотрена методика измерения параметров шероховатости полированной поверхности в нанометровом диапазоне с помощью интерференционного микроскопа с автоматической расшифровкой интерферограмм по методу фазовых шагов.
Об авторах
Н. Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
И. Ю. Цельмина
Раменский приборостроительный завод, Раменское
Россия
Россия
Список литературы
1. Карташев А. И. Шероховатость поверхности и методы ее измерения. М.: Изд-во гос. комитета стандартов, мер и измерительных приборов СССР, 1964.
2. Егоров В. А. Оптические и щуповые приборы для измерения шероховатости поверхности. М.: Машиностроение, 1965.
3. Уайтхауз Д. Метрология поверхностей. Принципы, промышленные методы и приборы. Долгопрудный: Издат. дом «Интеллект», 2009.
4. ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.
5. ГОСТ 9847–79. Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры.
Рецензия
Для цитирования:
Моисеев Н.Н., Цельмина И.Ю. Измерение параметров шероховатости с использованием интерференционного микроскопа. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(9):19- 21.
Просмотров:
74
Послать статью по эл. почте 