Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрения
Аннотация
Продемонстрирована возможность использования дифракционной решетки, изготовленной методом лазерного фотоиндуцированного травления поверхности (001) монокристаллического InP и монотоатомных ступеней на поверхности (0001) высокоориентированного пиролитического графита в качестве эталонных объектов для калибровки сканирующего ближнепольного оптического измерительного микроскопа, работающего в режиме квазитрения.
Об авторах
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. И. Панов
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва
Россия
Россия
А. А. Ежов
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва
Россия
Россия
Д. А. Музыченко
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Ежов А.А. и др.Исследование локализации электромагнитного поля на периодических структурах и дефектах методом оптической микроскопии ближнего поля // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. №11.С. 59–63.
2. ЕжовА.А. и др. Применение сканирующей оптической микроскопии ближнего поля для изучения субмикро- и нанообъектов, а также распределения электромагнитного поля // Наукоемкие технологии.2005.Т.6. №1.С. 34–40.
3. Lewis A.е. а.Design and imaging concepts in NSOM //Ultramicroscopy.1995.V. 61.Р. 215–220.
4. ГОСТ Р ИСО 14644-1–2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 1. Классификация чистоты воздуха.
Рецензия
Для цитирования:
Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Панов В.И., Ежов А.А., Музыченко Д.А. Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрения. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(9):15- 18.
Просмотров:
66
Послать статью по эл. почте 