Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н., Шаронов В.А. Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2013;(3):12-15.
Главный редактор
Евгений Русланович Лазаренко
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин)) 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево, ФГУП "ВНИИФТРИ", редакция журнала "Измерительная техника".
тел.: 8(495)781-48-70
e-mail: izmt@yandex.ru
