О латеральном разрешении интерференционного микроскопа
Аннотация
Дано описание измерений пространственного разрешения (разрешающей способности) автоматизированного интерференционного микроскопа, созданного на основе микроинтерферометра Линника МИИ-4М. Проведено сравнение полученных результатов и аналогичных значений, рассчитанных для традиционных оптических изображений, описываемых теорией Аббе. Подтверждена возможность преодоления дифракционного предела разрешения при помощи интерференционного микроскопа.
Об авторах
Г. Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Г. Н. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Н. Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
В. Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Левин Г. Г., Моисеев Н. Н. Сверхразрешающая оптическая микроскопия живых объектов / Наноматериалы и нанотехнологии в живых системах. Безопасность и наномедицина: Тез. лекций и докл. 2-й Междунар. шк. Моск. обл., 2011. С. 39.
2. Ravikiran Attota, Thomas A. Germer, Richard M. Silver. Through-focus scanning-optical-microscope imaging method for nanoscale dimensional analysis // Оptics Letters. 2008. V. 33. N 17. P.
3. Тычинский В. П. и др. Измерения субмикронных структур на лазерном фазовом микроскопе «Эйрискан» // Квантовая электроника. 1997. 24. № 8. С. 754–758.
4. Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях //УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.
5. Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19–24.
6. Levin G. e. a. Definition of object near nanometer shifting by 2D optical path difference / Automation, Control and Information Technology: Proc. IASTED Intern. сonf. 2010. V. 1. Р. 282–286.
7. Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.
Рецензия
Для цитирования:
Левин Г.Г., Вишняков Г.Н., Моисеев Н.Н., Минаев В.Л. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2013;(5):16-19.
Просмотров:
84
Послать статью по эл. почте 