izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1082Research ArticleОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯOPTICOPHYSICAL MEASUREMENTSО латеральном разрешении интерференционного микроскопаЛевинГ. Г.noemail@neicon.ruВишняковГ. Н.noemail@neicon.ruМоисеевН. Н.moiseev@vniiofi.ruМинаевВ. Л.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, МоскваRussian Federation201307022023051619Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1082

Дано описание измерений пространственного разрешения (разрешающей способности) автоматизированного интерференционного микроскопа, созданного на основе микроинтерферометра Линника МИИ-4М. Проведено сравнение полученных результатов и аналогичных значений, рассчитанных для традиционных оптических изображений, описываемых теорией Аббе. Подтверждена возможность преодоления дифракционного предела разрешения при помощи интерференционного микроскопа.

The description of spatial resolution measurements of automated interference microscope based on Linnik microinterferometer MII-4M is given. A comparison of obtained results with similar values ​​calculated for conventional optical images described by the Abbe theory is carried out. The possibility to overcome the diffraction limit of resolution by means of interference microscope is proved.

интерференционный микроскопоптическое разрешениефазовая ступенькаinterference microscopeoptical resolutionphase stepReferencesЛевин Г. Г., Моисеев Н. Н. Сверхразрешающая оптическая микроскопия живых объектов / Наноматериалы и нанотехнологии в живых системах. Безопасность и наномедицина: Тез. лекций и докл. 2-й Междунар. шк. Моск. обл., 2011. С. 39.Левин Г. Г., Моисеев Н. Н. Сверхразрешающая оптическая микроскопия живых объектов / Наноматериалы и нанотехнологии в живых системах. Безопасность и наномедицина: Тез. лекций и докл. 2-й Междунар. шк. Моск. обл., 2011. С. 39.Ravikiran Attota, Thomas A. Germer, Richard M. Silver. Through-focus scanning-optical-microscope imaging method for nanoscale dimensional analysis // Оptics Letters. 2008. V. 33. N 17. P.Ravikiran Attota, Thomas A. Germer, Richard M. Silver. Through-focus scanning-optical-microscope imaging method for nanoscale dimensional analysis // Оptics Letters. 2008. V. 33. N 17. P.Тычинский В. П. и др. Измерения субмикронных структур на лазерном фазовом микроскопе «Эйрискан» // Квантовая электроника. 1997. 24. № 8. С. 754–758.Тычинский В. П. и др. Измерения субмикронных структур на лазерном фазовом микроскопе «Эйрискан» // Квантовая электроника. 1997. 24. № 8. С. 754–758.Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях //УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях //УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19–24.Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19–24.Levin G. e. a. Definition of object near nanometer shifting by 2D optical path difference / Automation, Control and Information Technology: Proc. IASTED Intern. сonf. 2010. V. 1. Р. 282–286.Levin G. e. a. Definition of object near nanometer shifting by 2D optical path difference / Automation, Control and Information Technology: Proc. IASTED Intern. сonf. 2010. V. 1. Р. 282–286.Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.