Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа
Аннотация
Предложен способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100 при помощи тест-объекта, выполненного в виде тонкого среза кристаллической рельефной наноструктуры с известной формой профиля. Представлены результаты экспериментальной оценки за двухнедельный период.
Об авторах
А. В. Заблоцкий
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
А. С. Авилов
Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, Москва
Россия
Россия
Д. С. Бодунов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. А. Кузин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. А. Кузьмин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Williams D. B., Carter C. B. Transmission Electron Microscopy: A textbook for Materials Science. N. Y.: Springer, 2009.
2. Filippov M. N. e. a. Reference material for transmission electron microscope calibration // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N 9. P. 094014–094019.
3. Бодунов Д. С. и др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N 10. P. 1137–1140.
Рецензия
Для цитирования:
Заблоцкий А.В., Авилов А.С., Бодунов Д.С., Кузин А.А., Кузин А.Ю., Кузьмин А.А., Тодуа П.А. Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2013;(5):14-16.
Просмотров:
69
Послать статью по эл. почте 