izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1081Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯСпособ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопаЗаблоцкийА. В.zalexx@gmail.comАвиловА. С.noemail@neicon.ruБодуновД. С.noemail@neicon.ruКузинА. А.noemail@neicon.ruКузинА. Ю.noemail@neicon.ruКузьминА. А.noemail@neicon.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruМосковский физико-технический институт, ДолгопрудныйRussian FederationИнститут кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, МоскваRussian FederationНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, МоскваRussian Federation201307022023051416Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1081

Предложен способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100 при помощи тест-объекта, выполненного в виде тонкого среза кристаллической рельефной наноструктуры с известной формой профиля. Представлены результаты экспериментальной оценки за двухнедельный период.

The method of transmission electron microscope JEM-2100 scale factor stability estimation by means of a test-object made of a thin section of crystalline silicon relief nanostructure with known profile shape is suggested. The results of experimental estimation obtained over two week period are presented.

просвечивающий электронный микроскопмасштабный коэффициенткристаллическая рельефная наноструктураtransmission electron microscopescale factorcrystalline relief nanostructureReferencesWilliams D. B., Carter C. B. Transmission Electron Microscopy: A textbook for Materials Science. N. Y.: Springer, 2009.Williams D. B., Carter C. B. Transmission Electron Microscopy: A textbook for Materials Science. N. Y.: Springer, 2009.Filippov M. N. e. a. Reference material for transmission electron microscope calibration // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N 9. P. 094014–094019.Filippov M. N. e. a. Reference material for transmission electron microscope calibration // Meas. Sci. Technol. 2011. V. 22. N 9. P. 094014–094019.Бодунов Д. С. и др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N 10. P. 1137–1140.Бодунов Д. С. и др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2012. V. 55. N 10. P. 1137–1140.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.