|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью
Аннотация
Даны оценки теплового воздействия электронного зонда при низковольтном рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью. Показано, что для большинства неорганических материалов тепловые эффекты не важны, несмотря на значительный рост объёмной плотности мощности, обусловленной электронным облучением. Для органических материалов эти эффекты могут существенно влиять на результаты и вызывать разрушение образца.
Об авторах
А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
М. А. Степович
Калужский государственный университет им. К.Э. Циолковского
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
Список литературы
1. Боровский И. Б., Водоватов Ф. Ф., Жуков А. А., Черепин В. Т. Локальные методы анализа материалов. М.: Металлургия,1973.
2. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics c image formation and microanalysis. Berlin, N.Y.: Heidelberg Springer, 1998.
3. Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Измерение толщины окисной пленки на поверхности кремния электронно-зондовым методом // Измерительная техника. 2015. № 9. С. 13-16.
4. Гавриленко В. П., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Карабанов Д. А. Образование окисной пленки на поверхности кремниевой рельефной структуры в процессе плазменной очистки // Измерительная техника. 2015. № 9. С. 13-16.
5. Kanaya К., Okayama S. Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1972. V. 5. P. 43-58.
6. Шульман А. Р., Фридрихов С. А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. М.: Наука, 1977.
7. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеновском микроанализе // Известия АН. Сер. Физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 165-171.
Рецензия
Для цитирования:
Кузин А.Ю., Степович М.А., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(10):27-29.
Просмотров:
66
Послать статью по эл. почте 