|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Новый алгоритм моделирования видеосигнала в измерительном сканирующем электронном микроскопе
Аннотация
Изложены основные представления о физических процессах формирования видеосигнала в сканирующем электронном микроскопе. Построен новый библиотечный алгоритм моделирования видеосигнала. Опробование алгоритма показало его приемлемую точность, детальное соответствие модельных видеосигналов их экспериментальным аналогам. Расчет модельного видеосигнала в 500 точках занимает не более 1 с, что во много тысяч раз быстрее, чем по методу Монте-Карло.
Об авторах
Л. Г. Гагарина
Национальный исследовательский университет МИЭТ
Россия
Россия
А. В. Никитин
Институт искусств и информационных технологий
Россия
Россия
Список литературы
1. Никитин А. В. Использование математического моделирования для измерений нано-размеров в микроэлектронике // Измерительная техника. 2011. № 12. С. 25-29.
2. Никитин А. В. Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии // Измерительная техника. 2012. № 8. С. 15-20.
3. Newbury D. E., Joy D. C., Echlin P., Fiory C. E., Goldstein J. I. Advanced Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis // N.Y., London: Plenum press, 1987.
4. Амосов Р. М., Кузнецова В. В., Никитин А. В. Характеристики потока вторичных электронов, формирующих видеосигнал в РЭМ // Электронная техника. Микроэлектроника. 1982. Вып. 5-6. С. 43-49.
5. Никитин А. В. Моделирование процессов получения и контроля микроизображений в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. докт. физ.-мат. наук. М., 1992.
6. Babin S., Borisov S., Ivanchikov A. Monte-Carlo modeling of SEM using CHARIOT software and opportunity for calibration of linewidth metrology // Scanning. 2007. V. 29. N. 2. P. 80-84.
7. Lowney J. R. Application of Monte Carlo to simulations to critical dimension metrology in a scanning e lectron microscope // Scanning Microscopy. 1996. N. 10(3). P. 667-678.
8. Lowney J. R. MONSEL II: Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology // Microbeam Anal. 1995. N. 4. P. 131-136.
9. Бахвалов Н.С., Жидков Н П, Кобельков Г. М. Численные методы. М.: Бином, 2011.
Рецензия
Для цитирования:
Гагарина Л.Г., Никитин А.В. Новый алгоритм моделирования видеосигнала в измерительном сканирующем электронном микроскопе. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2016;(1):65-68.
Просмотров:
68
Послать статью по эл. почте 